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题名石英微机械陀螺的研究进展
被引量：4
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作者
关冉
张卫平
陈文元
张弓
成宇翔
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2012年第3期173-180,共8页
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基金
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0583)
航天支撑基金资助项目(11GFZ-JJ02-005)
+1 种基金
微米/纳米加工技术重点实验室基金资助项目(9140C790405110C7904)
上海交通大学研究生创新基金资助项目(Z-340-014)
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文摘
首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状。然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类,并且对于不同结构的石英微机械陀螺的具体加工工艺、性能参数、应用领域等进行了综述。最后,对不同结构类型的石英微机械陀螺的尺寸、加工工艺,检测轴向,精度等参数进行了总结和对比,在此基础上分析了石英微机械陀螺的发展趋势,并指出了石英微机械陀螺研究中存在的问题,例如石英加工过程中产生的侧壁晶棱的不平整、石英侧壁电极的制作困难以及石英微机械陀螺多轴化应用的限制等。
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关键词
石英
微机械陀螺
压电效应
科氏加速度效应
微电子机械系统(MEMS)
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Keywords
quartzl micromachined gyroscope
piezoelectric effect~ Coriolis acceleration effectmicro-electromechanical system （MEMS）
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分类号
TH703
[机械工程—仪器科学与技术]
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