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题名基于三片曲面反射镜的离轴投影成像系统
被引量：1
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作者
孙文军
赵立萍
孙京南
李娟
李孟洋
支洪武
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机构
哈尔滨师范大学光电带隙材料教育部重点实验室
黑龙江省先进功能材料与激发态重点实验室
物理与电子工程学院
牡丹江师范学院物理系
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期654-657,共4页
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基金
黑龙江省青年基金(No.QC06C043)
黑龙江省教育厅骨干教师项目(No.1251G031)
+1 种基金
哈师大预研项目(N0.08XYS-01)
黑龙江省研究生创新科研资金项目(No.YJSCX2011-414HLJ)资助
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文摘
采用调制传递函数和波前像差分析方法,设计了基于偶次非球面反射镜和Zernike自由曲面反射镜构成的放大倍数为80,相对孔径为2.8的三个离轴投影成像系统.其中第一片反射镜M1表面为凹面用于减小第二片反射镜的尺寸及获得高的对比度,而第二片反射镜M2和第三片反射镜M3表面为凸面用于校正系统像差及获得更短的投影距离.经软件设计与分析,三系统中基于三片Zernike自由曲面反射镜的成像系统光学性能最好,调制传递函数实现60lp/mm时60%以上,畸变小于2.0%.与其它文献相比,基于三片Zernike自由曲面反射镜系统可以更好地消除像差,缩短系统厚度,增大系统的可视角与相对孔径.
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关键词
离轴投影成像系统
泽尼克多项式曲面
调制传递函数
畸变
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Keywords
Off-axis projection system
Zernike polynomial Surface
Modulation Transfer Function(MTF)
Distortion
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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