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400-1100nm波段用于格兰泰勒棱镜减反射膜的研制
被引量：
5
1
作者
郝殿中
苏富芳
王召兵
《曲阜师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2009年第1期57-59,共3页
为提高格兰泰勒棱镜的透射率和使用带宽,研究了400-1100 nm超宽带减反射膜的设计、制备.利用数值优化技术设计了多层膜;采用沉积Al2O3为过渡层的方法,提高了薄膜和晶体的附着力.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜....
为提高格兰泰勒棱镜的透射率和使用带宽,研究了400-1100 nm超宽带减反射膜的设计、制备.利用数值优化技术设计了多层膜;采用沉积Al2O3为过渡层的方法,提高了薄膜和晶体的附着力.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜.采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率.测量结果表明平均剩余反射率均小于1.7%.测试薄膜与冰洲石晶体的附着力性能良好.
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关键词
光学薄膜
格兰泰勒棱镜
宽带
减反射膜
离子
辅助
电子束
镀膜
下载PDF
职称材料
可见光波段及1064nm波长处用于Glan-Taylor棱镜减反射膜
被引量：
3
2
作者
郝殿中
苏富芳
+2 位作者
宋连科
吴福全
李国华
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期307-310,共4页
为了提高Glan-Taylor棱镜的透射率,研究了Glan-Taylor棱镜在可见光波段及1064nm波长处减反射膜膜的设计和制备.为提高薄膜和冰洲石晶体的附着力,采用沉积Al2O3为过渡层,ZrO2作缓冲层的方法,用单纯形优化的方法进行膜系优化设计.用电子...
为了提高Glan-Taylor棱镜的透射率,研究了Glan-Taylor棱镜在可见光波段及1064nm波长处减反射膜膜的设计和制备.为提高薄膜和冰洲石晶体的附着力,采用沉积Al2O3为过渡层,ZrO2作缓冲层的方法,用单纯形优化的方法进行膜系优化设计.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜,并采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率.测量结果表明,在可见光波段及1064nm波长处的剩余反射率均小于0.5%经测试薄膜与冰洲石晶体的附着力性能良好.
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关键词
光学薄膜
Glan-Taylor棱镜
减反射膜
离子
辅助
电子束
镀膜
下载PDF
职称材料
离子束辅助电子束蒸镀H4膜工艺及其抗激光损伤特性研究
被引量：
1
3
作者
李晓雪
黄玲程
郝永芹
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第19期381-386,共6页
采用等离子体辅助电子束镀膜法制备了钛酸镧(H4)薄膜,研究了基底温度和离子束流密度等工艺条件及高温退火和等离子体后处理技术对H4薄膜的光学特性和表面形貌的影响。实验发现,适当地提高基底温度和离子束流密度可以提高薄膜折射率和薄...
采用等离子体辅助电子束镀膜法制备了钛酸镧(H4)薄膜,研究了基底温度和离子束流密度等工艺条件及高温退火和等离子体后处理技术对H4薄膜的光学特性和表面形貌的影响。实验发现,适当地提高基底温度和离子束流密度可以提高薄膜折射率和薄膜质量。在基底温度为175℃,离子束流密度为120μA/cm^(2)时,薄膜折射率最高为2.70,且退火和等离子体后处理技术可进一步使薄膜质量得到改善。将优化的工艺参数用于980 nm高反射膜的镀制,并与采用Ta_(2)O_(5)、TiO_(2)作为高反射率材料的高反膜进行了比较,在600 MW/cm^(2)的激光作用下,H4高反膜系的抗激光损伤特性最优。
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关键词
薄膜
离子
束
辅助
电子束
镀膜
钛酸镧(H4)
腔面膜
折射率
原文传递
题名
400-1100nm波段用于格兰泰勒棱镜减反射膜的研制
被引量：
5
1
作者
郝殿中
苏富芳
王召兵
机构
曲阜师范大学激光研究所
出处
《曲阜师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2009年第1期57-59,共3页
基金
山东省教育厅资助项目(J05C04)
文摘
为提高格兰泰勒棱镜的透射率和使用带宽,研究了400-1100 nm超宽带减反射膜的设计、制备.利用数值优化技术设计了多层膜;采用沉积Al2O3为过渡层的方法,提高了薄膜和晶体的附着力.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜.采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率.测量结果表明平均剩余反射率均小于1.7%.测试薄膜与冰洲石晶体的附着力性能良好.
关键词
光学薄膜
格兰泰勒棱镜
宽带
减反射膜
离子
辅助
电子束
镀膜
Keywords
optical film
Glan-Taylor prism
wide bandwidth
antireflection coatings
electron beam evaporation by ion assisted deposition
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
O436.3 [理学—光学]
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职称材料
题名
可见光波段及1064nm波长处用于Glan-Taylor棱镜减反射膜
被引量：
3
2
作者
郝殿中
苏富芳
宋连科
吴福全
李国华
机构
曲阜师范大学激光研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期307-310,共4页
基金
山东省教育厅科研基金(J05C04)资助
文摘
为了提高Glan-Taylor棱镜的透射率,研究了Glan-Taylor棱镜在可见光波段及1064nm波长处减反射膜膜的设计和制备.为提高薄膜和冰洲石晶体的附着力,采用沉积Al2O3为过渡层,ZrO2作缓冲层的方法,用单纯形优化的方法进行膜系优化设计.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜,并采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率.测量结果表明,在可见光波段及1064nm波长处的剩余反射率均小于0.5%经测试薄膜与冰洲石晶体的附着力性能良好.
关键词
光学薄膜
Glan-Taylor棱镜
减反射膜
离子
辅助
电子束
镀膜
Keywords
Optical film
Glan-Taylor prism
Antireflection coatings
Electron beam evaporation by ion assisted deposition
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
O436.3 [理学—光学]
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职称材料
题名
离子束辅助电子束蒸镀H4膜工艺及其抗激光损伤特性研究
被引量：
1
3
作者
李晓雪
黄玲程
郝永芹
机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
北京雷生强式科技有限责任公司
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第19期381-386,共6页
基金
国家自然科学基金(11474038)
吉林省科技发展计划项目(20200401073GX)。
文摘
采用等离子体辅助电子束镀膜法制备了钛酸镧(H4)薄膜,研究了基底温度和离子束流密度等工艺条件及高温退火和等离子体后处理技术对H4薄膜的光学特性和表面形貌的影响。实验发现,适当地提高基底温度和离子束流密度可以提高薄膜折射率和薄膜质量。在基底温度为175℃,离子束流密度为120μA/cm^(2)时,薄膜折射率最高为2.70,且退火和等离子体后处理技术可进一步使薄膜质量得到改善。将优化的工艺参数用于980 nm高反射膜的镀制,并与采用Ta_(2)O_(5)、TiO_(2)作为高反射率材料的高反膜进行了比较,在600 MW/cm^(2)的激光作用下,H4高反膜系的抗激光损伤特性最优。
关键词
薄膜
离子
束
辅助
电子束
镀膜
钛酸镧(H4)
腔面膜
折射率
Keywords
films
ionbeamassisted electron beam evaporation
LaTiO_(3)(H4)
facet coating
refractive index
分类号
TN205 [电子电信—物理电子学]
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
400-1100nm波段用于格兰泰勒棱镜减反射膜的研制
郝殿中
苏富芳
王召兵
《曲阜师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2009
5
下载PDF
职称材料
2
可见光波段及1064nm波长处用于Glan-Taylor棱镜减反射膜
郝殿中
苏富芳
宋连科
吴福全
李国华
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
下载PDF
职称材料
3
离子束辅助电子束蒸镀H4膜工艺及其抗激光损伤特性研究
李晓雪
黄玲程
郝永芹
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022
1
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