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离子束混合法制备Sm-Fe-N磁性薄膜 被引量:1
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作者 孙树滋 王强 +4 位作者 张兆安 宋根宗 徐送宁 马腾才 宫泽祥 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期231-233,共3页
利用离子束混合方法在Sm质量分数为20%的Sm-Fe多层薄膜中,当注入能量为60keV的N离子时,成功地制备出Sm-Fe-N磁性薄膜.经透射电镜(TEM)和X射线衍射(XRD)分析发现:当N离子的注入剂量为1×1... 利用离子束混合方法在Sm质量分数为20%的Sm-Fe多层薄膜中,当注入能量为60keV的N离子时,成功地制备出Sm-Fe-N磁性薄膜.经透射电镜(TEM)和X射线衍射(XRD)分析发现:当N离子的注入剂量为1×1017/cm2时,形成Sm2Fe17Nx磁性薄膜;而N离子的注入剂量为2×1017/cm2时,Sm-Fe多层薄膜转变成非晶磁性薄膜,而且Sm2Fe17Nx磁性薄膜和Sm-Fe-N非晶磁性薄膜的磁性(饱和磁性强度。 展开更多
关键词 离子注入 磁性薄膜 薄膜 离子束混合法 永磁体
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离子束混合法涂覆Ti—N膜后的钻头的切削性能
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作者 晓青 《等离子体应用技术快报》 2000年第6期19-20,共2页
关键词 离子束混合法 涂覆 钛-膜 切削性能 钻头
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