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静电放电机理、影响及离子发生器在电子设备静电防护上的应用研究 被引量：2
1
作者 徐涛 《电子工业专用设备》 2009年第8期41-45,共5页
静电放电问题是困扰包括半导体晶圆,液晶面板,太阳能模块的生产和加工等众多电子、光电子行业的顽疾。被动防止静电放电需要在加工材料选择,工艺流程优化,生产环境温湿度控制等众多环节加以严格限制,其过程复杂,管控起来难度较大。主动... 静电放电问题是困扰包括半导体晶圆,液晶面板,太阳能模块的生产和加工等众多电子、光电子行业的顽疾。被动防止静电放电需要在加工材料选择,工艺流程优化,生产环境温湿度控制等众多环节加以严格限制,其过程复杂,管控起来难度较大。主动预防静电放电的最佳方式就是采用在电子、光电子加工设备上安置离子发生器中来和电子、光电子器件上的多余电荷。离子发生器的性能特点,参数设置等对电子、光电子设备的静电放电控制起着至关重要的作用。 展开更多
关键词 离子发生设备 静电放电 电子设备 光电子设备
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