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题名高纯三氯氢硅生产中磷硼杂质的去除
被引量：7
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作者
黄小明
杨邦美
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机构
江西景德半导体新材料有限公司
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出处
《化工生产与技术》
CAS
2012年第5期55-56,64,共3页
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文摘
根据生产实践,总结分析了磷、硼杂质在三氯氢硅中的存在形式以及磷硼元素对多晶硅品质的影响。磷系化合物主要是以高沸物存在,少量以低沸物存在,通过加大各塔塔底的排放可以除去;硼系化合物80%左右是以高沸形式存在,15%左右是以低沸形式存在,还有5%左右的杂质沸点是同一工况下高于三氯氢硅,但低于四氯化硅的沸点。除硼成了三氯氢硅提纯的关键因素,合理控制各塔的排高排低除去硼杂质,降低精馏塔单位产品能耗,提高精馏塔的生产能力。
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关键词
三氯氢硅
磷硼杂质
高沸物
低沸物
多晶硅
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Keywords
trichlorosilane
phosphorus boron impurities
high boiling substances
low boiling substances
polycrystalline silicon
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分类号
TQ127.2
[化学工程—无机化工]
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