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CVT法生长GaP多晶 被引量:1
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作者 王向阳 何莉 +2 位作者 田鸿昌 东艳萍 蔡以超 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期860-862,共3页
阐述了CVT(化学气相输运)法生长GaP的基本反应和输运速度,采用CVT法生长出了GaP多晶。设计了石英管的结构以制造出一个局部的低温区域,防止了CaP在管壁的生长。生长出的GaP多晶相对密度为98%,红外透过率达到30%,努普硬度为611kg/mm2... 阐述了CVT(化学气相输运)法生长GaP的基本反应和输运速度,采用CVT法生长出了GaP多晶。设计了石英管的结构以制造出一个局部的低温区域,防止了CaP在管壁的生长。生长出的GaP多晶相对密度为98%,红外透过率达到30%,努普硬度为611kg/mm2。散射颗粒测试表明主要的光散射颗粒为多晶中存在的孔隙。 展开更多
关键词 化学气相输运法 磷化镓多晶 晶体生长 红外窗口材料 半导体材料
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大投料量磷化镓多晶的工业生产
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作者 王泽树 鹿亮 +1 位作者 许村 孙明海 《山东电子》 1998年第1期37-38,共2页
本文简要介绍了英国MR公司生产的PGR3000型磷化镓多晶合成炉的工作原理,简述了我们利用该设备研制生产大投料量磷化镓多晶的工艺,报道了产品目前所达到的技术水平,并指出了进行工业生产应解决的关键问题。
关键词 磷化镓多晶 三温区加热炉 时频感应加热 制备
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