用于130nm/90nm新工艺开发的铜CMP阻挡层磨料系统(英文)

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作者 Christine Ye Michael Oliver +2 位作者 John Quanci Matt VanHanehem 无 《电子工业专用设备》 2003年第6期22-25,共4页

通过与实验室的CMP和集成工程师合作,采用测试系统观察两种或两种以上混合配方磨料的选择比。实验数据表明,通过改变单个化学试剂组分的浓度改变磨料的选择比效果突出,磨料配方师可以简便地修改磨料配方。这种方法的优点是,如果改变集... 通过与实验室的CMP和集成工程师合作,采用测试系统观察两种或两种以上混合配方磨料的选择比。实验数据表明,通过改变单个化学试剂组分的浓度改变磨料的选择比效果突出,磨料配方师可以简便地修改磨料配方。这种方法的优点是,如果改变集成方法或特殊膜层,可以很快地重新优化磨料。如SiN膜取代TEOW淀积氧化物膜,对新系统可以容易地重新优化磨料。介绍了几种磨料组分浓度的去除速率和选择比。 展开更多

关键词 新工艺术开发 铜CMP 磨料系统 选择比 去除速率

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后混合磨料水射流切割系统的研究 被引量：9

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作者 胡东 夏志华 唐川林 《机床与液压》 北大核心 2013年第19期33-35,39,共4页

后混合磨料水射流是极具发展前景的一种冷态加工工艺。对后混合磨料射流切割机的工作原理及主体组成进行了分析,并针对IE-B型超高压水射流切割机所存在的不足进行了改进。结果表明:改进后的磨料水射流切割机解决了原有设备密封性能差、... 后混合磨料水射流是极具发展前景的一种冷态加工工艺。对后混合磨料射流切割机的工作原理及主体组成进行了分析,并针对IE-B型超高压水射流切割机所存在的不足进行了改进。结果表明:改进后的磨料水射流切割机解决了原有设备密封性能差、可靠性低、维护成本高等多方面的问题。 展开更多

关键词 后混合磨料射流 增压器 单向阀 磨料供给系统

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耐磨料磨损材料数据库系统构成及实现 被引量：7

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作者 袁晓波 杨瑞成 +2 位作者 羊海棠 陈奎 陈华 《兰州理工大学学报》 CAS 北大核心 2004年第4期40-42,共3页

以磨料磨损工作系统(AWWS)为基础,采用Delphi软件建立了耐磨料磨损材料数据库系统(AWRMDS).通过AWRMDS,实现对耐磨料磨损材料的信息存储、管理、查询等功能,从而采用定量关系进行选材,为生产工艺提供辅助依据.

关键词 耐磨料磨损材料 磨料磨损工作系统 数据库系统 设计方法 定量选材

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磨料磨损工作系统与耐磨料磨损材料数据库 被引量：4

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作者 杨瑞成 袁晓波 羊海棠 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期373-377,共5页

从非平衡系统和不可逆过程热力学出发,基于体系同周围环境的联系与交互作用,研究了磨料磨损工作系统的开放性、复杂性和远离平衡态的特征;结合负熵流分析,揭示了材料磨料磨损过程不可逆的特点、不同性质总熵变,以及磨损工作状态特征、... 从非平衡系统和不可逆过程热力学出发,基于体系同周围环境的联系与交互作用,研究了磨料磨损工作系统的开放性、复杂性和远离平衡态的特征;结合负熵流分析,揭示了材料磨料磨损过程不可逆的特点、不同性质总熵变,以及磨损工作状态特征、出现耗散结构的可能性及其主要结构形式;进而构筑了磨料磨损工作系统和具有多种功能的耐磨料磨损材料数据库,并分析了其特点.结果表明,所建立的数据库具有多方位查询和选材等多种功能. 展开更多

关键词 磨料磨损 耐磨材料 磨料磨损工作系统 数据库

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前混合磨料射流系统性能和结构的改进 被引量：4

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作者 闫贺庆 赵铁 《湘潭矿业学院学报》 2002年第1期30-33,共4页

针对前混合磨料射流系统存在的磨料涌出而导致对系统管件 ,尤其是喷嘴产生磨损的问题 ,对原有的射流系统进行了分析 .在分析结果的基础上 ,提出了 3种改进型系统 .对改进型系统进行了定性的理论分析 ,用试验手段得到高压管路的波速值 ,... 针对前混合磨料射流系统存在的磨料涌出而导致对系统管件 ,尤其是喷嘴产生磨损的问题 ,对原有的射流系统进行了分析 .在分析结果的基础上 ,提出了 3种改进型系统 .对改进型系统进行了定性的理论分析 ,用试验手段得到高压管路的波速值 ,并用试验检验的方法得出了 3种改进型系统性能优劣的比较 ,认为改进 型系统较好的解决了磨料涌出并磨损管路元件的问题 .图 6 ,表 2 ,参 展开更多

关键词 前混合磨料射流系统 结构 改进 瞬变流 磨损 喷嘴

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磨料射流切割系统能量传输效率的研究 被引量：3

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作者 杨清文 缪家贵 《矿山机械》 北大核心 2000年第6期56-57,共2页

介绍了两种不同形式的磨料射流切割系统，分析了它们的能量传输效率，并用实验进行了验证。研究结果表明：前混合磨料射流切系统具有较高的能量传输效率和较小的切割比能。

关键词 切割系统 磨料射流切割系统 能量传输效率

原文传递

前混合磨料射流系统的流动特性研究

7

作者 闫贺庆 于力牛 《煤矿机械》 北大核心 2001年第2期18-20,共3页

对前混合磨料射流系统正常工作过程中的影响因素及影响规律进行了分析 ,提出了主要参数选择的基本原则。针对停泵之后磨料罐中的残余磨料容易涌入管路 ,因而对相关影响因素进行了分析 ,并提出了初步的解决方案。

关键词 前混合磨料射流系统 流动特性 喷嘴 磨料罐

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前混合式磨料射流系统的容积效应及有关安全问题 被引量：2

8

作者 尤明庆 《中国安全科学学报》 CAS CSCD 2000年第1期53-56,共4页

前混合式磨料射流系统具有明显的容积效应。通常情况下 ,系统在停止工作压力降低时 ,磨料罐将排出约 1 L的浆液 ,在长 5 m以上的管路中淤积 ;重新工作时 ,将造成喷嘴和管路的严重磨损 ,甚至造成堵塞 ,使系统不能正常工作。为此 ,笔者提... 前混合式磨料射流系统具有明显的容积效应。通常情况下 ,系统在停止工作压力降低时 ,磨料罐将排出约 1 L的浆液 ,在长 5 m以上的管路中淤积 ;重新工作时 ,将造成喷嘴和管路的严重磨损 ,甚至造成堵塞 ,使系统不能正常工作。为此 ,笔者提出了一种新型的射流发生系统 ,改善系统的容积效应 ,在其停止工作时 ,采用了磨料罐从上方排出清水以降低系统压力方法 ,改善磨料大量涌出和管路淤积现象 ,同时也对管接头等磨蚀引起的有关安全问题进行了讨论。 展开更多

关键词 前混合式磨料射流系统 容积效应 安全 磨损 管路淤积 磨料罐

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磨料回收系统智能控制研究 被引量：2

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作者 韩荃 董浩 +1 位作者 王嘉容 吕莉华 《造船技术》 2016年第1期87-92,共6页

在现阶段我国大型造船厂广泛使用的涂装工场中,磨料回收系统是必不可少的组成部分。磨料回收系统一般由局部除尘器、局部除尘风机、皮带输送机、斗式提升机、磨料清理机和螺旋输送机组成,其设备的启动与停机需遵循一套启停程序,以保证... 在现阶段我国大型造船厂广泛使用的涂装工场中,磨料回收系统是必不可少的组成部分。磨料回收系统一般由局部除尘器、局部除尘风机、皮带输送机、斗式提升机、磨料清理机和螺旋输送机组成,其设备的启动与停机需遵循一套启停程序,以保证系统内不会淤积磨料。如果磨料回收系统存在磨料淤积,设备启动荷载极易超出额定负荷,从而导致设备无法正常运行或损坏。本项目"磨料回收系统智能控制研究"就是针对磨料回收系统的实际工作状态,通过智能控制设备的运行状态,精确控制磨料回收系统内部各个设备的开机与关机时机,合理分配能源,最大化地减少磨料回收系统的空载时间,从而达到既能满足原有的生产负荷,又能节约能耗降低设备损耗的目的,为涂装工厂节能减排、降本增效提供了技术支持。 展开更多

关键词 磨料回收系统 智能控制 减少淤积 节能减排

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机电一体化磨料水切割技术的新进展

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《机电一体化》 1995年第1期30-31,共2页

含磨料的喷水可以切割任何材料，如铝材、钢材、钛、高镍合金以及玻璃、大理石等脆性材料，甚至一些新型强化复合材料、蜂窝状材料、夹心材料和特种陶瓷等．

关键词 机电一体化 磨料水切割 喷水切割系统 Ingersoll-Rand公司 切割头 磨料传输系统

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自吸循环供料磨料射流系统的研究

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作者 刘力红 吕松 《淮南矿业学院学报》 1997年第1期30-34,共5页

介绍了一种新型的磨料射流供料系统。对系统的主要参数进行了研究。试验表明该系统可实现对物体表面的喷饰功用。

关键词 磨料射流 循环供料 表面喷饰 磨料射流系统

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前混合磨料射流系统液固两相流动特点

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作者 杨清文 《矿山机械》 北大核心 2003年第11期62-63,共2页

讨论了前混合磨料射流两相流流型，分析了磨料和水的混合机理，建立磨料粒子在混合管道和喷嘴内的运动方程并对其进行了求解，取得了有益的结论。

关键词 前混合磨料射流系统 液固两相流动 加速机理 运动方程

原文传递

前混合磨料射流加工系统之光整加工试验研究

13

作者 张丹 邹红亮 《湖北农机化》 2020年第1期178-179,共2页

使用前混合磨料射流加工系统喷射的微细射流束,进行了Q235钢板和Ly10铝板的气体压强单因素光整加工试验,根据试验,得出气体压强是决定加工效果的核心因素,对材料的去除量和表面粗糙度都有很大的影响。

关键词 前混合磨料射流加工系统 微细射流束 光整加工 抛光去毛刺

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应用材料公司提供100纳米以下的化学机械抛光设备

14

《集成电路应用》 2002年第9期44-44,共1页

关键词 应用材料公司 化学机械抛光设备 固定磨料网系统 STI结构

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ENGIS香港有限公司代表处在北京成立

15

《现代车用动力》 2005年第1期42-42,共1页

2004年12月8日ENGIS香港有限公司北京代表处隆重举行了开业典礼。美国ENGIS公司和ENGIS集团分布在世界各地的分公司总裁，中国地区的用户和有关媒体约几十人来到现场祝贺。荚国ENGIS公司副总裁IonBenea博士；美国机械制造技术协会北京... 2004年12月8日ENGIS香港有限公司北京代表处隆重举行了开业典礼。美国ENGIS公司和ENGIS集团分布在世界各地的分公司总裁，中国地区的用户和有关媒体约几十人来到现场祝贺。荚国ENGIS公司副总裁IonBenea博士；美国机械制造技术协会北京代表处首席代表李星斌先生；ENGIs集团远东业务部首席执行官Leslie Carter先生；ENGIS香港有限公司北京代表处首席代表廉洁女士四人为开幕式剪彩。leslie Carter先生作了致辞。 展开更多

关键词 ENGIS香港有限公司 北京 超硬磨料精加工系统 发展策略

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