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磁控微流控芯片中磁场产生方式的研究进展与应用 被引量:1
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作者 马秀清 孙凯欣 范一强 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第10期810-817,822,共9页
磁场控制微流体具有诸多优点,如设计简单、易于操作、对温度和pH值等不敏感,在微流控芯片中具有较好的发展前景。在微流控芯片中磁场主要是通过永磁体、电磁体和软磁体来产生,对这三种磁场产生方式进行了综述。根据磁体位置或磁体形式... 磁场控制微流体具有诸多优点,如设计简单、易于操作、对温度和pH值等不敏感,在微流控芯片中具有较好的发展前景。在微流控芯片中磁场主要是通过永磁体、电磁体和软磁体来产生,对这三种磁场产生方式进行了综述。根据磁体位置或磁体形式又可将每种方式分为不同的类型,并对一些典型的加工方法进行列表对比。使用永磁体产生磁场的装置具有结构简单和磁场强度大等优点,但装置的集成度较低;使用电磁体产生磁场的装置具有磁场强度可控、集成度较高等优点,但其磁场强度较弱;使用软磁体产生磁场的装置具有集成度较高、磁场强度较大等优点,但需要与外置磁体配合使用,在实际应用中应根据具体情况选择磁场产生方式。最后对未来微流控领域内磁场控制技术的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 磁场操纵 微流控芯片 永磁体 电磁体 软磁体
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