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后摩尔时代的碳基电子技术:进展、应用与挑战 被引量:7
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作者 刘一凡 张志勇 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期386-421,共36页
近六十年来,以硅为核心材料的半导体技术,特别是CMOS集成电路技术推动了人类信息社会的深刻变革,但也逐渐接近其物理极限和工程极限,全球半导体产业已经进入后摩尔时代.半导体性碳纳米管具有高迁移率、超薄体等诸多优异的电学特性,因此... 近六十年来,以硅为核心材料的半导体技术,特别是CMOS集成电路技术推动了人类信息社会的深刻变革,但也逐渐接近其物理极限和工程极限,全球半导体产业已经进入后摩尔时代.半导体性碳纳米管具有高迁移率、超薄体等诸多优异的电学特性,因此成为后摩尔时代新型半导体材料的有力候选.基于碳纳米管的碳基电子技术历经二十余年发展,在材料制备、器件物理和晶体管制备等基础性问题中也已经取得了根本性突破,其产业化进程从原理上看已经没有不可逾越的障碍.因此,本文着重介绍了碳基电子技术在后摩尔时代的本征优势,综述了碳基电子技术的基础性问题、进展和下一步的优化方向,及其在数字集成电路、射频电子、传感器、三维集成和特种芯片等领域的应用前景.最后,本文还分析了碳基电子技术产业化进程中的综合性挑战,并对其未来发展做出预测和展望. 展开更多
关键词 纳米管 电子技术 CMOS 晶体管 集成电路
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全球碳基电子技术发展态势分析 被引量:1
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作者 王立娜 唐川 徐婧 《世界科技研究与发展》 CSCD 2021年第5期547-558,共12页
当前,摩尔定律正遭遇技术与成本两方面的发展瓶颈,传统的硅基电子技术临近发展极限。凭借尺寸小、速度快、功耗低、工艺简单等优势,碳基电子成为极具发展潜力的替代性半导体技术之一,获得了众多国家政府机构和大型公司的积极关注与研发... 当前,摩尔定律正遭遇技术与成本两方面的发展瓶颈,传统的硅基电子技术临近发展极限。凭借尺寸小、速度快、功耗低、工艺简单等优势,碳基电子成为极具发展潜力的替代性半导体技术之一,获得了众多国家政府机构和大型公司的积极关注与研发布局。本文回顾了近年来美国、欧盟、英国、日本等主要国家和地区在碳基电子技术方面的战略规划和项目部署,分析了石墨烯电子技术、碳纳米管电子技术、碳化硅电子技术三大碳基电子技术的发展现状与趋势。最后,对我国碳基电子技术的发展提出了建议,具体包括:应制定国家碳基电子技术发展战略,完善顶层布局;进一步整合优势资源,建立产学研联合攻关网络,突破关键碳基电子技术产业化瓶颈,在全球电子信息技术产业中获取更多的话语权。 展开更多
关键词 半导体 摩尔定律 电子技术 战略规划 发展态势
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