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一种非球面超精密单点磨削与形状误差补偿技术 被引量:24
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作者 陈逢军 尹韶辉 +2 位作者 范玉峰 朱勇建 刘庆 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第23期186-191,共6页
随着各种小型的非球面光学零部件的广泛应用,其成型模具的制造精度要求也日趋提高。针对目前我国尚未完全掌握非球面模具的超精密磨削技术的情况,对超精密单点磨削和形状误差补偿方法进行研究。利用在位接触式的测量系统的测量数据重构... 随着各种小型的非球面光学零部件的广泛应用,其成型模具的制造精度要求也日趋提高。针对目前我国尚未完全掌握非球面模具的超精密磨削技术的情况,对超精密单点磨削和形状误差补偿方法进行研究。利用在位接触式的测量系统的测量数据重构实际的磨削轮廓曲线。根据实际磨削轮廓与目标轮廓之间的法向距离,求解出法向残余误差,并提出基于超精密单点斜轴磨削的形状误差补偿方法。利用超精密磨床对口径为6 mm的超硬碳化钨的非球面光学模具进行超精密磨削、在位测量与误差补偿试验,经过两次循环,其形状精度(Peak to valley,PV)从449 nm改善至182 nm。 展开更多
关键词 单点磨削 误差补偿 形状误差 非球面模具 碳化钨磨削
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非球面模具斜轴磨削工艺参数优化与试验研究
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作者 黄静 龙青松 +2 位作者 高荣 张弓 周红艳 《制造技术与机床》 北大核心 2023年第4期97-103,共7页
针对纳米加工中碳化钨模具表面波纹度对非球面玻璃成像性能影响的问题,通过对单点斜轴磨削中的磨削刀具振动分析和磨削理论残余误差分析,阐述磨削工艺参数对表面波纹度的影响机理。结合磨削试验对磨削工艺参数进行优化,得到理想的磨削... 针对纳米加工中碳化钨模具表面波纹度对非球面玻璃成像性能影响的问题,通过对单点斜轴磨削中的磨削刀具振动分析和磨削理论残余误差分析,阐述磨削工艺参数对表面波纹度的影响机理。结合磨削试验对磨削工艺参数进行优化,得到理想的磨削工艺参数:主轴转速40000~45000 r/min,工件转速为200 r/min,工作台轴向进给速度为0.1 mm/min,磨削深度为0.1μm以下时,表面波纹度可达到理想的均匀交叉状态且表面波纹度wz值可控制在30 nm以内。 展开更多
关键词 单点磨削 非球面模具 碳化钨磨削 表面波纹度 磨削工艺参数
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