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化学气相反应法制备SiC涂层 被引量:22
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作者 刘兴昉 黄启忠 +1 位作者 苏哲安 蒋建献 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期906-910,共5页
采用化学气相反应法,以3种不同工艺在C/C复合材料表面制备了SiC涂层,并检测了其抗氧化性能。以工业用Si和辅助剂SiO2为原料,在高温、惰性环境中反应产生SiO蒸气,将其引入反应室与C/C复合材料在不同温度下进行气相反应,在试样表面生成一... 采用化学气相反应法,以3种不同工艺在C/C复合材料表面制备了SiC涂层,并检测了其抗氧化性能。以工业用Si和辅助剂SiO2为原料,在高温、惰性环境中反应产生SiO蒸气,将其引入反应室与C/C复合材料在不同温度下进行气相反应,在试样表面生成一层致密的SiC涂层。X射线衍射分析表明:涂层是由βSiC组成。从试样截面的扫描电镜可知:不同工艺制得的SiC涂层界面过渡带颗粒的微观形貌各异。经最优工艺制备的涂层过渡带很窄,有βSiC纳米晶须生成,且其抗氧化性能最佳。 展开更多
关键词 一氧化硅 碳化硅涂层 纳米晶须 化学气相反应法
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包埋法制备碳/碳复合材料碳化硅涂层缺陷的形成机制及控制 被引量:15
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作者 焦更生 李贺军 +2 位作者 李克智 王闯 魏剑 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期721-724,共4页
用包埋法在碳/碳(C/C)复合材料表面制备了碳化硅(SiC)涂层及改性涂层。用扫描电镜观察涂层的微观形貌。从理论上探讨了涂层缺陷的形成机制,分析了改性剂对SiC涂层形貌、晶粒尺寸的影响。结果表明:添加改性剂后,涂层晶粒变小,涂层致密,... 用包埋法在碳/碳(C/C)复合材料表面制备了碳化硅(SiC)涂层及改性涂层。用扫描电镜观察涂层的微观形貌。从理论上探讨了涂层缺陷的形成机制,分析了改性剂对SiC涂层形貌、晶粒尺寸的影响。结果表明:添加改性剂后,涂层晶粒变小,涂层致密,表面未出现裂纹,断面孔洞的数量减少,尺寸减小。在1773K的抗氧化性比未添加改性剂涂层的显著提高。 展开更多
关键词 碳化硅涂层 裂纹 包埋法
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Anti-oxidation behavior of chemical vapor reaction SiC coatings on different carbon materials at high temperatures 被引量:12
3
作者 杨鑫 黄启忠 +4 位作者 邹艳红 常新 苏哲安 张明瑜 谢志勇 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2009年第5期1044-1050,共7页
To protect carbon materials from oxidation,SiC coatings were prepared on carbon/carbon(C/C)composites and graphite by chemical vapor reaction.SEM and XRD analyses show that the coatings obtained are composed of SiC gr... To protect carbon materials from oxidation,SiC coatings were prepared on carbon/carbon(C/C)composites and graphite by chemical vapor reaction.SEM and XRD analyses show that the coatings obtained are composed of SiC grains and micro-crystals. The influence of different carbon substrates on oxidation behavior of coated samples was investigated,and then their oxidation mechanisms were studied.Oxidation test shows that the SiC coated graphite has a better oxidation resistance than SiC coated C/C composites at high temperatures(1 623 K and 1 823 K).In the oxidation process,the oxidation curves of SiC coated C/C composites are linear,while those of SiC coated graphite follow a quasi-parabolic manner.The oxidation mechanism of the former is controlled by chemical reaction while the latter is controlled by oxygen diffusion based on the experimental results.The variation of oxidation behavior and mechanism of SiC coatings on two kinds of carbon substrates are primarily contributed to their structure differences. 展开更多
关键词 SIC涂层 抗氧化性能 化学气相反应 反应行为 碳材料 炭/炭复合材料 高温 碳化硅涂层
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阴极溅射SiC涂层碳纤维结构与特性研究 被引量:11
4
作者 华文君 陈大明 赵家培 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期73-77,共5页
主要研究了阴极溅射SiC涂层碳纤维的结构与特性。结果表明:采用该工艺在碳纤维上得到的是非晶态的SiC涂层。该涂层对碳纤维的强度没有影响,在不高于700℃的温度下。
关键词 阴极溅射 结构 抗氧化性 碳纤维 碳化硅涂层
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低温化学气相沉积SiC涂层显微结构及晶体结构研究 被引量:9
5
作者 刘荣军 张长瑞 +3 位作者 周新贵 曹英斌 刘晓阳 张彬 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1107-1111,共5页
在CH_3SiCl_3-H_2体系中,采用化学气相沉积法(CVD)在1000~1300℃制备了SiC涂层。研究了SiC涂层的沉积速率和温度之间的关系,发现低温化学气相沉积SiC为动力学控制过程,反应的表观活化能为85~156 kJ/mol。SiC涂层的外观颜色及涂层表面... 在CH_3SiCl_3-H_2体系中,采用化学气相沉积法(CVD)在1000~1300℃制备了SiC涂层。研究了SiC涂层的沉积速率和温度之间的关系,发现低温化学气相沉积SiC为动力学控制过程,反应的表观活化能为85~156 kJ/mol。SiC涂层的外观颜色及涂层表面的显微结构随沉积温度变化而呈现规律的变化:当沉积温度<1150℃时,SiC涂层的外观颜色为银白色,涂层表面致密、光滑;当温度≥1150℃时,SiC涂层外观颜色逐渐变暗,涂层表面变得疏松、粗糙。利用XRD分析了不同沉积温度下SiC涂层的晶体结构,随着温度的升高,SiC涂层的结晶由不完整趋向于完整;当沉积温度≥1150℃,SiC涂层的XRD谱图中除了β-SiC外还出现了少量α-SiC。 展开更多
关键词 碳化硅涂层 沉积温度 低温化学气相沉积 显微结构 晶体结构
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C/C复合材料SiC涂层强冲蚀环境的烧蚀性能研究 被引量:8
6
作者 姚栋嘉 李贺军 +2 位作者 张守阳 李克智 王永杰 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第7期610-614,共5页
采用低压化学气相沉积法在碳纤维增强碳基(C/C)复合材料表面制备了碳化硅(Si C)涂层,借助XRD与SEM对Si C涂层的微观结构进行了分析,采用划痕仪测试了Si C涂层的结合力,研究了涂覆涂层后的C/C复合材料在强冲蚀条件下的烧蚀性能,分析了Si ... 采用低压化学气相沉积法在碳纤维增强碳基(C/C)复合材料表面制备了碳化硅(Si C)涂层,借助XRD与SEM对Si C涂层的微观结构进行了分析,采用划痕仪测试了Si C涂层的结合力,研究了涂覆涂层后的C/C复合材料在强冲蚀条件下的烧蚀性能,分析了Si C涂层在强冲蚀条件下的失效机理.结果表明:LPCVD法制备的Si C涂层结构完整,无裂纹,无缺陷;涂层的结合力较弱,为5N;C/C复合材料烧蚀600s后涂层大部分区域保持完好,冲刷最强位置涂层遭到破坏;机械剥蚀是在强冲蚀条件下Si C涂层失效的主要原因。 展开更多
关键词 炭/炭复合材料 碳化硅涂层 抗烧蚀
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CVD生长SiC涂层工艺过程的正交分析研究 被引量:4
7
作者 徐志淮 李贺军 《兵器材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2000年第5期35-40,共6页
为了在C/C材料表面可靠地制备SiC抗氧化涂层 ,针对CVD工艺特点 ,采用正交设计方法对MTS +H2 体系制备SiC工艺过程进行了全面系统的研究 ,在对沉积过程现象进行观察分析的基础上 ,计算了 6种工艺因素对SiC -CVD过程影响的方差 ,对各自影... 为了在C/C材料表面可靠地制备SiC抗氧化涂层 ,针对CVD工艺特点 ,采用正交设计方法对MTS +H2 体系制备SiC工艺过程进行了全面系统的研究 ,在对沉积过程现象进行观察分析的基础上 ,计算了 6种工艺因素对SiC -CVD过程影响的方差 ,对各自影响的显著性进行了分析 ,并讨论了所属的 2 1种工艺条件对沉积结果的影响。 展开更多
关键词 碳/碳复合材料 碳化硅涂层 CVD 正交设计
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SiC涂层对泡沫炭高温抗氧化性能的影响 被引量:4
8
作者 张志金 王富耻 +3 位作者 于晓东 邹优锐 李凯 栾志强 《表面技术》 EI CAS CSCD 2008年第2期40-41,58,共3页
采用包埋法在中间相沥青基泡沫炭表面生成了一层致密的高温抗氧化碳化硅涂层,研究了SiC涂层对泡沫炭高温抗氧化性能的影响。通过热重分析仪(TG)对有、无SiC涂层的泡沫炭的抗氧化性能变化进行了分析,采用扫描电子显微镜(SEM)分析了SiC涂... 采用包埋法在中间相沥青基泡沫炭表面生成了一层致密的高温抗氧化碳化硅涂层,研究了SiC涂层对泡沫炭高温抗氧化性能的影响。通过热重分析仪(TG)对有、无SiC涂层的泡沫炭的抗氧化性能变化进行了分析,采用扫描电子显微镜(SEM)分析了SiC涂层的结构和形貌特征变化,同时在1 200℃空气气氛中对SiC涂层的抗氧化性能进行了测试。结果表明:SiC涂层使泡沫炭的抗氧化性能有了显著的提高,并且随着SiC涂层厚度的增加,泡沫炭的抗氧化性能也随之增强。 展开更多
关键词 泡沫炭 碳化硅涂层 包埋法 抗氧化
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高温SiC/Al_2O_3复合抗氧化涂层性能的研究 被引量:3
9
作者 李鹏 苏向东 《贵州科学》 2002年第4期178-181,共4页
本文通过SiC及SiC/Al2 O3 复合涂层抗氧化性能的研究 ,认为采用高温浸渗工艺 ,在石墨制品表面形成的SiC涂层与基体有合理的界面结构 ,该涂层能对石墨制品起到良好的抗氧化防护作用 ,而SiC/Al2 O3 复合涂层使石墨制品具有更佳的抗氧化能力。
关键词 SIC AL2O3 抗氧化 抗氧化 石墨 碳化硅涂层 氧化铝涂层
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碳纤维涂覆SiC新工艺及涂层纤维的力学特性 被引量:5
10
作者 凌志达 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第3期33-37,共5页
用气相SiO和CO反应形成SiC的方法成功地在碳纤维上涂覆SiC。SiC涂层是由β-SiC团粒从碳纤维表面向外生长形成,并具有玉米棒子状的表面形貌。SiC层厚度增加到≥0.2μm,涂层纤维的拉伸强度随SiC层厚度增加... 用气相SiO和CO反应形成SiC的方法成功地在碳纤维上涂覆SiC。SiC涂层是由β-SiC团粒从碳纤维表面向外生长形成,并具有玉米棒子状的表面形貌。SiC层厚度增加到≥0.2μm,涂层纤维的拉伸强度随SiC层厚度增加而下降,此结果与Ochiai的理论模型相吻合。SiC层厚度达到1μm的涂层纤维,其拉伸时的力学行为与具有弱界面结合的1维脆性纤维—脆性基质复合材料相似,并显示SiC层的多次断裂。对碳纤维芯因涂层处理而引起的性能退化进行了讨论。 展开更多
关键词 碳纤维 碳化硅涂层 力学性能
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C/C复合材料密度及预氧化处理对SiC涂层的影响 被引量:5
11
作者 杨凡 谢奥林 +1 位作者 张贝 易茂中 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2021年第2期132-138,共7页
采用包埋法分别在密度为0.8、1.4和1.8 g/cm^(3)的炭/炭(C/C)复合材料表面制备SiC涂层,选择密度为1.8 g/cm^(3)的试样研究预氧化处理对涂层结构和抗氧化性能的影响。利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究涂层的显微组织和物相组成,用150... 采用包埋法分别在密度为0.8、1.4和1.8 g/cm^(3)的炭/炭(C/C)复合材料表面制备SiC涂层,选择密度为1.8 g/cm^(3)的试样研究预氧化处理对涂层结构和抗氧化性能的影响。利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究涂层的显微组织和物相组成,用1500℃静态空气氧化方法测试涂层的抗氧化性能。结果表明,随C/C复合材料密度增大,涂层嵌入基体的深度越小,涂层与基体的分界越明显。密度为1.8 g/cm^(3)的C/C复合材料进行预氧化处理后,表面粗糙度增大,表面的炭纤维周围产生了环形孔隙,再经过包埋制备SiC涂层,涂层厚度增加且更加均匀致密。将样品于1500℃静态空气中氧化334 h后,氧化质量损失率为0.684×10^(−4) g/(cm^(2)·h),氧化后表面生成了莫来石相,抗氧化性能有明显提升。 展开更多
关键词 C/C复合材料 碳化硅涂层 预氧化 包埋法 抗氧化性能
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CVD SiC涂层的致密化工艺研究 被引量:5
12
作者 刘晓阳 张长瑞 周新贵 《新技术新工艺》 北大核心 2002年第12期38-40,共3页
研究了复合材料表面 CVD Si C涂层的制备工艺 ,并对涂层的表面致密化性能进行分析。在不同的工艺条件下制备 Si C涂层 ,探讨了温度、载气流速、时间等因素对涂层的影响。利用扫描电镜和 X-射线衍射仪 ,对涂层晶型进行分析 ,讨论不同条件... 研究了复合材料表面 CVD Si C涂层的制备工艺 ,并对涂层的表面致密化性能进行分析。在不同的工艺条件下制备 Si C涂层 ,探讨了温度、载气流速、时间等因素对涂层的影响。利用扫描电镜和 X-射线衍射仪 ,对涂层晶型进行分析 ,讨论不同条件下 Si C的结晶形态 ,从而得出制备致密涂层的较好工艺。 展开更多
关键词 CVD 复合材料 碳化硅涂层
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化学气相沉积碳化硅涂层缺陷形成的机制及控制 被引量:5
13
作者 吴守军 成来飞 +2 位作者 张立同 徐永东 沈季雄 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期443-446,共4页
利用扫描电镜对化学气相沉积碳化硅防氧化涂层的表面和断口进行观察,探讨了涂层裂纹、涂层网状缺陷和涂层面缺陷的形成机理。从涂层沉积工艺角度出发,对涂层缺陷控制进行探索,慢速沉积对上述涂层缺陷,特别是面缺陷的控制有显著效果,能... 利用扫描电镜对化学气相沉积碳化硅防氧化涂层的表面和断口进行观察,探讨了涂层裂纹、涂层网状缺陷和涂层面缺陷的形成机理。从涂层沉积工艺角度出发,对涂层缺陷控制进行探索,慢速沉积对上述涂层缺陷,特别是面缺陷的控制有显著效果,能获得无面缺陷的多层涂层。氧化实验结果表明:具有慢沉积多层涂层的三维C/SiC在1 300 ℃空气中表现为缓慢的氧化质量增加。 展开更多
关键词 碳化硅涂层 形成机理 缺陷控制
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Improved oxidation resistance of chemical vapor reaction SiC coating modified with silica for carbon/carbon composites 被引量:4
14
作者 杨鑫 邹艳红 +4 位作者 黄启忠 苏哲安 常新 张明瑜 肖勇 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2010年第1期1-6,共6页
To protect carbon/carbon (C/C) composites from oxidation, a SiC coating modified with SiO2 was prepared by a complex technology. The inner SiC coating with thickness varying from 150 to 300 μm was initially coated by... To protect carbon/carbon (C/C) composites from oxidation, a SiC coating modified with SiO2 was prepared by a complex technology. The inner SiC coating with thickness varying from 150 to 300 μm was initially coated by chemical vapor reaction (CVR): a simple and cheap technique to prepare the SiC coating via siliconizing the substrate that was exposed to the mixed vapor (Si and SiO2) at high temperatures (1 923?2 273 K). Then the as-prepared coating was processed by a dipping and drying procedure with tetraethoxysilane as source materials to form SiO2 to fill the cracks and holes. Oxidation tests show that, after oxidation in air at 1 623 K for 10 h and thermal cycling between 1 623 K and room temperature 5 times, the mass loss of the CVR coated sample is up to 18.21%, while the sample coated with modified coating is only 5.96%, exhibiting an obvious improvement of oxidation and thermal shock resistance of the coating. The mass loss of the modified sample is mainly contributed to the reaction of C/C substrate with oxygen diffusing through the penetrating cracks formed in thermal shock tests. 展开更多
关键词 carbon/carbon composites COATING OXIDATION SIC
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Mg-3Sn合金表面高导热耐腐蚀SiC_x涂层研究 被引量:4
15
作者 刘霞 陈云贵 +5 位作者 肖素芬 唐永柏 丁武成 王春明 何代澄 唐永清 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1480-1483,共4页
高导热耐腐蚀涂层在轻质镁合金散热器件中的应用具有重要的意义。研究了Mg-3Sn合金表面磁控溅射SiC薄膜的组织结构、导热及耐腐蚀性能。结果表明,Mg-3Sn镁合金表面磁控溅射SiCx薄膜为非晶态。相对于经盐雾实验后的Mg-3Sn合金基体,在25和... 高导热耐腐蚀涂层在轻质镁合金散热器件中的应用具有重要的意义。研究了Mg-3Sn合金表面磁控溅射SiC薄膜的组织结构、导热及耐腐蚀性能。结果表明,Mg-3Sn镁合金表面磁控溅射SiCx薄膜为非晶态。相对于经盐雾实验后的Mg-3Sn合金基体,在25和100℃条件下,经SiCx涂覆的Mg-3Sn材料腐蚀后的热导率分别提高23和16W/(m.K),且具有良好的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 镁合金 磁控溅射 碳化硅涂层 导热 腐蚀
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碳化硅涂层的离子注入改性 被引量:2
16
作者 李舵 成来飞 +1 位作者 吴守军 沈季雄 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1202-1207,共6页
在SiC涂层表面注入Al3+,B3+,Si4+,观察3种离子注入对涂层表面裂纹的封填情况,分析离子注入后涂层表面的相组成,考核离子注入对SiC C/SiC材料抗氧化性能的影响。在1 300℃模拟空气中氧化15 h后,注入Al3+的复合材料的氧化质量损失比未经... 在SiC涂层表面注入Al3+,B3+,Si4+,观察3种离子注入对涂层表面裂纹的封填情况,分析离子注入后涂层表面的相组成,考核离子注入对SiC C/SiC材料抗氧化性能的影响。在1 300℃模拟空气中氧化15 h后,注入Al3+的复合材料的氧化质量损失比未经涂层改性的降低了0.3%,形成的玻璃氧化层中气泡和孔洞少,对涂层裂纹的封填效果较好但覆盖不均匀。注入B3+的复合材料的氧化质量损失比未经涂层改性的降低了0.1%,形成的玻璃氧化层的流动性好且覆盖均匀,但其表面多气泡和孔洞,破坏了玻璃氧化层对涂层裂纹的封填作用。注入Si4+的复合材料的氧化质量损失同注入B3+的试样基本相当,但是其氧化质量损失有增大趋势,表明Si4+的注入对改善材料的抗氧化性能无积极作用。 展开更多
关键词 碳/碳化硅复合材料 碳化硅涂层 离子注入 氧化
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碳纤维涂层碳化硅高温抗氧化性能研究 被引量:2
17
作者 曲恒辉 李孟 +3 位作者 冯美军 张圣涛 朱辉 王军岗 《当代化工研究》 2022年第7期56-58,共3页
碳纤维材料以其良好的性能,在树脂基、陶瓷基、金属基等复合材料中得到了广泛的应用,但高温下容易被氧化,并严重的限制了碳纤维的应用范围。本文利用扫描电镜、透射电镜、电子探针、X射线光电子能谱分析、热重分析等对涂层碳纤维进行了... 碳纤维材料以其良好的性能,在树脂基、陶瓷基、金属基等复合材料中得到了广泛的应用,但高温下容易被氧化,并严重的限制了碳纤维的应用范围。本文利用扫描电镜、透射电镜、电子探针、X射线光电子能谱分析、热重分析等对涂层碳纤维进行了高温(800℃)抗氧化性研究,得到了涂层的成分为SiC,通过可控气氛炉得到涂层碳纤维800℃高温下失重率与时间呈现抛物线规律变化,同时与无涂层碳纤维的氧化失重曲线相比发现:此涂层碳纤维在高温下具有一定的抗氧化性。 展开更多
关键词 碳化硅涂层 碳纤维 抗氧化性
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SiC热防护涂层制备工艺研究 被引量:3
18
作者 陈明伟 邱海鹏 +3 位作者 焦健 李秀倩 王宇 谢巍杰 《航空制造技术》 北大核心 2014年第15期90-92,97,共4页
基于热力学理论分析和化学气相沉积工艺特点,设计了CVD-SiC工艺流程,进而在石墨基体上制备了SiC涂层。对涂层进行了SEM及XRD分析,考察了反应温度和体系压力对涂层形貌和结构的影响。研究表明,较低的体系压力有利于在较低的温度下制备高... 基于热力学理论分析和化学气相沉积工艺特点,设计了CVD-SiC工艺流程,进而在石墨基体上制备了SiC涂层。对涂层进行了SEM及XRD分析,考察了反应温度和体系压力对涂层形貌和结构的影响。研究表明,较低的体系压力有利于在较低的温度下制备高纯度的SiC涂层,在优化工艺条件下(n(H2)/n(MTS)=10,p=10kPa,t=1100℃)制备的SiC涂层结构致密,表面呈球形颗粒状,沿(111)面择优取向生长。 展开更多
关键词 化学气相沉积 碳化硅涂层 热力学分析
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射频法涂层碳纤维的高温氧化性 被引量:2
19
作者 董兴广 王成国 井敏 《纤维复合材料》 CAS 2005年第3期28-31,共4页
国内外为提高碳纤维的高温氧化性,采用化学气相沉积法在碳纤维表面涂覆抗氧化涂层技术已广泛应用。本文采用低温射频法对碳纤维涂覆碳化硅涂层,并对涂层碳纤维进行800℃高温抗氧化性研究。热重分析发现,此种涂层碳纤维具有一定的抗氧化... 国内外为提高碳纤维的高温氧化性,采用化学气相沉积法在碳纤维表面涂覆抗氧化涂层技术已广泛应用。本文采用低温射频法对碳纤维涂覆碳化硅涂层,并对涂层碳纤维进行800℃高温抗氧化性研究。热重分析发现,此种涂层碳纤维具有一定的抗氧化性,其氧化失重与时间和温度呈现抛物线规律变化。利用电子探针及透射电镜研究发现,涂层的表面致密化程度和界面结合情况是影响其抗氧化性的关键因素。 展开更多
关键词 碳化硅涂层 碳纤维 抗氧化性 射频法
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航空航天用碳硅复合材料抗氧化涂层的研究现状 被引量:1
20
作者 孙丽娟 《航空制造工程》 1996年第5期12-13,共2页
介绍了航空航天用碳碳复合材料(C/C)抗氧化涂层研究的发展和现状,指出提高SiC涂层系统抗氧化能力的根本途径在于选择合适的玻璃密封剂来覆盖和封闭SiC上的微裂纹。最新研究结果表明,使用射频磁控溅射工艺能够在C/C上得... 介绍了航空航天用碳碳复合材料(C/C)抗氧化涂层研究的发展和现状,指出提高SiC涂层系统抗氧化能力的根本途径在于选择合适的玻璃密封剂来覆盖和封闭SiC上的微裂纹。最新研究结果表明,使用射频磁控溅射工艺能够在C/C上得到均匀的铱涂覆层,且在高温环境中仍能保持稳定。此外发现,铱和C/C复合材料间不发生界面反应。 展开更多
关键词 碳碳 复合材料 抗氧化涂层 碳化硅涂层 航空
原文传递
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