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硫化锌透镜中长波红外宽带增透膜的研制
被引量：
26
1
作者
于天燕
朱福荣
+1 位作者
刘定权
张凤山
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期270-273,共4页
硫化锌(ZnS)透镜由于其透光区域较宽,便于光学系统的装校而被经常应用于红外光学系统中,但是其作为基底,镀制中长波红外增透膜却具有相当大的难度,尤其是牢固度的问题.根据任务要求研制的增透膜是在3.5～3.9 μm的中波红外波段及9～12 ...
硫化锌(ZnS)透镜由于其透光区域较宽,便于光学系统的装校而被经常应用于红外光学系统中,但是其作为基底,镀制中长波红外增透膜却具有相当大的难度,尤其是牢固度的问题.根据任务要求研制的增透膜是在3.5～3.9 μm的中波红外波段及9～12 μm的长波红外波段,平均透射率大于90%.由于长波红外区可选用的宽透射区材料较少,所以兼顾材料的选用、光谱特性及可靠性满足使用要求等几方面考虑,最终采用氟化钇(YF3)作为低折射率材料,经过多次实验,采用混蒸、离子辅助等工艺方法以及选取合适的基底温度,通过对其他工艺环节的不断改进,解决了在ZnS透镜上镀制宽带增透膜,由YF3膜层严重的应力作用而导致膜层龟裂的问题,最终研制成功符合使用要求,并且可靠性和光谱特性皆优的中长波红外增透膜.
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关键词
光学薄膜
红外增透膜
硫化锌
透镜
氟化钇
应力作用
离子辅助
原文传递
热压硫化锌的超精密磨削加工
被引量：
8
2
作者
陈冰
郭兵
+2 位作者
赵清亮
饶志敏
姚光
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期2109-2116,共8页
针对用传统车削或研磨抛光方法加工大尺寸非球面热压硫化锌透镜存在的不足,采用金刚石砂轮磨削加工方法对热压硫化锌材料进行了加工实验.通过压痕、单颗粒金刚石刻划和磨削正交实验,研究了该方法在磨削加工过程中的塑性域去除机理及其...
针对用传统车削或研磨抛光方法加工大尺寸非球面热压硫化锌透镜存在的不足,采用金刚石砂轮磨削加工方法对热压硫化锌材料进行了加工实验.通过压痕、单颗粒金刚石刻划和磨削正交实验,研究了该方法在磨削加工过程中的塑性域去除机理及其亚表面损伤情况,并优化了超精密磨削加工工艺参数.压痕实验发现热压硫化锌材料在载荷作用下易于出现径向裂纹和微裂纹,其断裂韧性为2.643842 MPa/m1/2,临界切削深度为1.808 μm.单颗粒金刚石刻划实验结果表明,热压硫化锌材料在较小的切削深度下可以实现塑性域去除,但在机械去除过程中易出现多种形式的亚表层损伤.磨削实验结果表明,磨削深度是影响表面光洁度的主要因素,随着磨削深度的增大表面光洁度降低,最佳表面粗糙度为7.6 nm.工作台进给速度是影响面形精度的主要因素,且平面磨削的面形精度PV值为0.185～0.395 μm.研究结果表明,磨削加工热压硫化锌材料可以获得纳米级表面粗糙度.
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关键词
热压
硫化锌
透镜
压痕实验
临界切削深度
单颗粒刻划
平面磨削
亚表面损伤
表面质量
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职称材料
题名
硫化锌透镜中长波红外宽带增透膜的研制
被引量：
26
1
作者
于天燕
朱福荣
刘定权
张凤山
机构
中国科学院上海技术物理研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期270-273,共4页
文摘
硫化锌(ZnS)透镜由于其透光区域较宽,便于光学系统的装校而被经常应用于红外光学系统中,但是其作为基底,镀制中长波红外增透膜却具有相当大的难度,尤其是牢固度的问题.根据任务要求研制的增透膜是在3.5～3.9 μm的中波红外波段及9～12 μm的长波红外波段,平均透射率大于90%.由于长波红外区可选用的宽透射区材料较少,所以兼顾材料的选用、光谱特性及可靠性满足使用要求等几方面考虑,最终采用氟化钇(YF3)作为低折射率材料,经过多次实验,采用混蒸、离子辅助等工艺方法以及选取合适的基底温度,通过对其他工艺环节的不断改进,解决了在ZnS透镜上镀制宽带增透膜,由YF3膜层严重的应力作用而导致膜层龟裂的问题,最终研制成功符合使用要求,并且可靠性和光谱特性皆优的中长波红外增透膜.
关键词
光学薄膜
红外增透膜
硫化锌
透镜
氟化钇
应力作用
离子辅助
Keywords
Deposition
Infrared transmission
Ion beam assisted deposition
Lenses
Stresses
Thin films
Transparency
Yttrium compounds
Zinc sulfide
分类号
TM223 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
热压硫化锌的超精密磨削加工
被引量：
8
2
作者
陈冰
郭兵
赵清亮
饶志敏
姚光
机构
哈尔滨工业大学机电工程学院
中国航天科技集团长征机械厂
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期2109-2116,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51075093)
国家重大科技专项资助项目(No.2011ZX 04004-051)
文摘
针对用传统车削或研磨抛光方法加工大尺寸非球面热压硫化锌透镜存在的不足,采用金刚石砂轮磨削加工方法对热压硫化锌材料进行了加工实验.通过压痕、单颗粒金刚石刻划和磨削正交实验,研究了该方法在磨削加工过程中的塑性域去除机理及其亚表面损伤情况,并优化了超精密磨削加工工艺参数.压痕实验发现热压硫化锌材料在载荷作用下易于出现径向裂纹和微裂纹,其断裂韧性为2.643842 MPa/m1/2,临界切削深度为1.808 μm.单颗粒金刚石刻划实验结果表明,热压硫化锌材料在较小的切削深度下可以实现塑性域去除,但在机械去除过程中易出现多种形式的亚表层损伤.磨削实验结果表明,磨削深度是影响表面光洁度的主要因素,随着磨削深度的增大表面光洁度降低,最佳表面粗糙度为7.6 nm.工作台进给速度是影响面形精度的主要因素,且平面磨削的面形精度PV值为0.185～0.395 μm.研究结果表明,磨削加工热压硫化锌材料可以获得纳米级表面粗糙度.
关键词
热压
硫化锌
透镜
压痕实验
临界切削深度
单颗粒刻划
平面磨削
亚表面损伤
表面质量
Keywords
hot-pressed zinc sulfide lens
micro-indentation experiment
critical cutting thickness
single-point diamond scratching
surface grinding
subsurface damage
surface quality
分类号
TG580.6 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硫化锌透镜中长波红外宽带增透膜的研制
于天燕
朱福荣
刘定权
张凤山
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
26
原文传递
2
热压硫化锌的超精密磨削加工
陈冰
郭兵
赵清亮
饶志敏
姚光
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
8
下载PDF
职称材料
已选择
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