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氧化铝钝化在晶体硅太阳电池中的应用 被引量：9
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作者 吴大卫 贾锐 +6 位作者 武德起 丁武昌 陈伟 陈晨 岳会会 刘新宇 陈宝钦 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第8期528-535,共8页
首先,回顾了氧化铝钝化技术的发展历程,对制备氧化铝钝化薄膜的手段进行了总结,并且详细描述了氧化铝的材料性质和钝化的机理。其次,指出氧化铝薄膜的优点在于优异的场效应钝化特性和良好的化学钝化性质,因此可以应用于低掺和高掺p型硅... 首先,回顾了氧化铝钝化技术的发展历程,对制备氧化铝钝化薄膜的手段进行了总结,并且详细描述了氧化铝的材料性质和钝化的机理。其次,指出氧化铝薄膜的优点在于优异的场效应钝化特性和良好的化学钝化性质,因此可以应用于低掺和高掺p型硅表面的钝化。此外,氧化铝薄膜及其叠层还具有良好的热稳定性,符合丝网印刷太阳电池的要求。最后,总结了氧化铝薄膜钝化技术在晶体硅太阳电池中的最新研究动态,指出氧化铝钝化薄膜用于工业生产中存在的问题,并针对这些问题提出了有效的解决方案。 展开更多
关键词 硅表面钝化 氧化铝 原子层沉积 场效应钝化 烧结稳定性
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用于高效硅太阳电池的原子层沉积Al_2O_3表面钝化特性研究 被引量：3
2
作者 孙昀 贾锐 +3 位作者 孟彦龙 王仕建 金智 刘新宇 《太阳能》 2013年第6期38-40,共3页
系统研究了采用热——原子层沉积技术生长的Al2O3对p型晶体硅的表面钝化特性。Al2O3膜层的钝化质量通过采用微波光电导衰减的方法证明Al2O3介质层可提供优异的表面钝化效果。此外,通过采用C-V技术和椭圆偏振光谱测试技术对Al2O3介质层... 系统研究了采用热——原子层沉积技术生长的Al2O3对p型晶体硅的表面钝化特性。Al2O3膜层的钝化质量通过采用微波光电导衰减的方法证明Al2O3介质层可提供优异的表面钝化效果。此外,通过采用C-V技术和椭圆偏振光谱测试技术对Al2O3介质层的表征证明,除了薄膜层中的负固定电荷,Al2O3介质层的H的含量在钝化效果中起着关键作用。 展开更多
关键词 AL2O3 ALD 硅表面钝化 少数载流子有效寿命 高效硅太阳电池
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