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面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
被引量：
20
1
作者
丛明
杜宇
+1 位作者
沈宝宏
金立刚
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2007年第3期261-266,共6页
介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持...
介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨.
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关键词
集成电路
硅片
机器人
传输
系统
硅片
机器人
预对准装置
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职称材料
题名
面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
被引量：
20
1
作者
丛明
杜宇
沈宝宏
金立刚
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2007年第3期261-266,共6页
基金
国家863计划资助项目(2002AA4212301)
文摘
介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨.
关键词
集成电路
硅片
机器人
传输
系统
硅片
机器人
预对准装置
Keywords
integrate circuit
robotic wafer handling system
wafer robot
prealigner
分类号
TP24 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
丛明
杜宇
沈宝宏
金立刚
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2007
20
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