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面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
被引量：
20
1
作者
丛明
杜宇
+1 位作者
沈宝宏
金立刚
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2007年第3期261-266,共6页
介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持...
介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨.
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关键词
集成电路
硅片
机器人
传输系统
硅片
机器人
预对准装置
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职称材料
硅片机器人大臂结构多目标拓扑优化设计
被引量：
3
2
作者
于宁波
黄中玉
《包装工程》
CAS
北大核心
2020年第7期209-216,共8页
目的为了改善硅片机器人结构的静、动力学性能,实现结构的轻量化设计。方法引入多目标优化理论,并结合层次分析法,实现硅片机器人大臂的结构优化设计。依据设计方案分析大臂的受力情况,采用固体各向同性材料惩罚模型分别构建多目标优化...
目的为了改善硅片机器人结构的静、动力学性能,实现结构的轻量化设计。方法引入多目标优化理论,并结合层次分析法,实现硅片机器人大臂的结构优化设计。依据设计方案分析大臂的受力情况,采用固体各向同性材料惩罚模型分别构建多目标优化数值模型,并运用优化准则法进行优化求解。引入数理统计中的层次分析法确定各子目标函数的权重比,依据折衷规划组合方法构造关于静刚度和一阶固有频率的总目标函数。结果优化结果可知,大臂的柔度从26.890 mm/N降到13.221 mm/N,一阶固有频率从556.86 Hz增加到629.90 Hz,结构质量从1.48 kg减少到0.583 kg。结论多目标优化结果表明,基于多目标优化理论对硅片机器人大臂结构的改进设计,不仅有效地提高了其静刚度特性,一阶固有频率的提高说明大臂结构能抑制振动能力的提升,还实现了大臂结构轻量化设计。层次分析法的引入为多目标优化问题中各子目标函数的重要性提供了客观的理论依据。
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关键词
硅片
机器人
大臂
多目标优化设计
层次分析法
折衷规划法
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职称材料
基于ADAMS和Matlab的硅片搬运机器人联合仿真研究
被引量：
3
3
作者
吴静
刘品宽
《机电一体化》
2013年第7期16-20,49,共6页
为提高硅片搬运机器人的设计效率,充分利用虚拟样机技术,搭建硅片搬运机器人的联合仿真系统。首先借助三维建模软件SolidWorks建立机器人三维实体模型;然后将实体模型导入ADAMS多体动力学软件,建立机器人的动力学模型,进行运动学和动力...
为提高硅片搬运机器人的设计效率,充分利用虚拟样机技术,搭建硅片搬运机器人的联合仿真系统。首先借助三维建模软件SolidWorks建立机器人三维实体模型;然后将实体模型导入ADAMS多体动力学软件,建立机器人的动力学模型,进行运动学和动力学仿真;之后在Matlab/Simulink中搭建机器人控制系统,并通过ADAMS/Control模块将ADAMS动力学模型与Simulink控制系统模型组合在一起,建立联合仿真系统。仿真结果表明,硅片搬运机器人具有较好的动态响应特性和良好的轨迹跟踪能力。
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关键词
硅片
搬运
机器人
虚拟样机
联合仿真
机械系统动力学自动分析
MATLAB
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职称材料
题名
面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
被引量：
20
1
作者
丛明
杜宇
沈宝宏
金立刚
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2007年第3期261-266,共6页
基金
国家863计划资助项目(2002AA4212301)
文摘
介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨.
关键词
集成电路
硅片
机器人
传输系统
硅片
机器人
预对准装置
Keywords
integrate circuit
robotic wafer handling system
wafer robot
prealigner
分类号
TP24 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
硅片机器人大臂结构多目标拓扑优化设计
被引量：
3
2
作者
于宁波
黄中玉
机构
湖北三峡职业技术学院
出处
《包装工程》
CAS
北大核心
2020年第7期209-216,共8页
基金
湖北省教育厅科学技术研究项目(B2016553)
湖北省教育厅品牌专业建设项目(鄂教职成[2014]8号)。
文摘
目的为了改善硅片机器人结构的静、动力学性能,实现结构的轻量化设计。方法引入多目标优化理论,并结合层次分析法,实现硅片机器人大臂的结构优化设计。依据设计方案分析大臂的受力情况,采用固体各向同性材料惩罚模型分别构建多目标优化数值模型,并运用优化准则法进行优化求解。引入数理统计中的层次分析法确定各子目标函数的权重比,依据折衷规划组合方法构造关于静刚度和一阶固有频率的总目标函数。结果优化结果可知,大臂的柔度从26.890 mm/N降到13.221 mm/N,一阶固有频率从556.86 Hz增加到629.90 Hz,结构质量从1.48 kg减少到0.583 kg。结论多目标优化结果表明,基于多目标优化理论对硅片机器人大臂结构的改进设计,不仅有效地提高了其静刚度特性,一阶固有频率的提高说明大臂结构能抑制振动能力的提升,还实现了大臂结构轻量化设计。层次分析法的引入为多目标优化问题中各子目标函数的重要性提供了客观的理论依据。
关键词
硅片
机器人
大臂
多目标优化设计
层次分析法
折衷规划法
Keywords
big arm of silicon wafer robot
multi-objective optimization design
analytic hierarchy process
compromise programming method
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
基于ADAMS和Matlab的硅片搬运机器人联合仿真研究
被引量：
3
3
作者
吴静
刘品宽
机构
上海交通大学机械与动力工程学院
出处
《机电一体化》
2013年第7期16-20,49,共6页
文摘
为提高硅片搬运机器人的设计效率,充分利用虚拟样机技术,搭建硅片搬运机器人的联合仿真系统。首先借助三维建模软件SolidWorks建立机器人三维实体模型;然后将实体模型导入ADAMS多体动力学软件,建立机器人的动力学模型,进行运动学和动力学仿真;之后在Matlab/Simulink中搭建机器人控制系统,并通过ADAMS/Control模块将ADAMS动力学模型与Simulink控制系统模型组合在一起,建立联合仿真系统。仿真结果表明,硅片搬运机器人具有较好的动态响应特性和良好的轨迹跟踪能力。
关键词
硅片
搬运
机器人
虚拟样机
联合仿真
机械系统动力学自动分析
MATLAB
Keywords
wafer-handling robot virtual prototype coordinated simulation ADAMS Matlab
分类号
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
丛明
杜宇
沈宝宏
金立刚
《机器人》
EI
CSCD
北大核心
2007
20
下载PDF
职称材料
2
硅片机器人大臂结构多目标拓扑优化设计
于宁波
黄中玉
《包装工程》
CAS
北大核心
2020
3
下载PDF
职称材料
3
基于ADAMS和Matlab的硅片搬运机器人联合仿真研究
吴静
刘品宽
《机电一体化》
2013
3
下载PDF
职称材料
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