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化学法多晶硅生产工艺研究进展 被引量:10
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作者 念保义 郭海琼 何绍福 《广州化工》 CAS 2011年第6期21-24,37,共5页
随着能源危机的不断加剧,太阳能作为可再生能源已成为关注的焦点。从国内外多晶硅的生产状况,综述了化学法多晶硅的生产工艺,重点分析比较了几种潜在工业应用的流化床法生产多晶硅工艺的特点,指出未来多晶硅生产应当以流化床法为主,并... 随着能源危机的不断加剧,太阳能作为可再生能源已成为关注的焦点。从国内外多晶硅的生产状况,综述了化学法多晶硅的生产工艺,重点分析比较了几种潜在工业应用的流化床法生产多晶硅工艺的特点,指出未来多晶硅生产应当以流化床法为主,并耦合其它相关技术。同时展望了未来化学法生产多晶硅的发展趋势。 展开更多
关键词 太阳能多晶硅 化学 流化床反应器 改良西门子工艺 硅烷工艺
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