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硅基光电集成材料及器件的研究进展
被引量：
1
1
作者
韦文生
张春熹
+1 位作者
周克足
王天民
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2003年第5期31-35,共5页
以硅基光电集成回路为主线,综述了不同的硅基光波导材料的制备技术和硅基光波导的制作工艺及其对光传输损耗的影响。分析了硅基光波导与锗硅光探测器集成用两种不同的耦合方式,阐明了波导与探测器集成的机理及设计理论基础。归纳出硅基...
以硅基光电集成回路为主线,综述了不同的硅基光波导材料的制备技术和硅基光波导的制作工艺及其对光传输损耗的影响。分析了硅基光波导与锗硅光探测器集成用两种不同的耦合方式,阐明了波导与探测器集成的机理及设计理论基础。归纳出硅基键合激光器的四种技术方案,指出其共同优点是克服材料异质外延引起的晶格失配和热膨胀非共容,对实现OEIC行之有效。
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关键词
硅
基
光
电集成
材料
光
电集成器件
硅
基
光
波导
材料
制备技术
硅
基
光
波导
光
传输损耗
锗
硅
光
探测器
耦合方式
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职称材料
题名
硅基光电集成材料及器件的研究进展
被引量：
1
1
作者
韦文生
张春熹
周克足
王天民
机构
北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心
北京航空航天大学光电技术研究所
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2003年第5期31-35,共5页
基金
国家863计划
高校博士点基金(200220006037)
北京航空航天大学博士生基础性研究基金
文摘
以硅基光电集成回路为主线,综述了不同的硅基光波导材料的制备技术和硅基光波导的制作工艺及其对光传输损耗的影响。分析了硅基光波导与锗硅光探测器集成用两种不同的耦合方式,阐明了波导与探测器集成的机理及设计理论基础。归纳出硅基键合激光器的四种技术方案,指出其共同优点是克服材料异质外延引起的晶格失配和热膨胀非共容,对实现OEIC行之有效。
关键词
硅
基
光
电集成
材料
光
电集成器件
硅
基
光
波导
材料
制备技术
硅
基
光
波导
光
传输损耗
锗
硅
光
探测器
耦合方式
Keywords
optic electronics integrated circuit,materials of optical waveguides,silicon-based devices of integrated optics
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TN2
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅基光电集成材料及器件的研究进展
韦文生
张春熹
周克足
王天民
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2003
1
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