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用纸型固态扩散源制作硅功率整流管的工艺
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作者 伏炳万 《电力电子技术》 CSCD 北大核心 1992年第1期52-54,共3页
对采用纸型固态扩散源制作硅功率整流管的一次全扩散工艺进行了试验，提出了适用于ZP200A整流管生产线的一次全扩展工艺方法，并对此工艺方法做了经济分析，认为该方法是降低成本，提高产品质量，创造经济效益的好途径。
关键词 电力半导体器件 硅功率整流管 纸型固态扩散源
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