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均热板扩散烧结成型质量控制
1
作者 潘国向 《机械工程师》 2024年第3期106-108,共3页
1~3 mm厚度均热板产品在试产过程中均出现过形变、砂眼、裂纹、粘连等质量缺陷问题。剖析成因与高温环境中铜片的延展性能相关,与石墨盘盘洁净度和尺寸精度相关,与烧结后铜片的脱模效果相关。为解决均热板在扩散烧结过程中产生的质量问... 1~3 mm厚度均热板产品在试产过程中均出现过形变、砂眼、裂纹、粘连等质量缺陷问题。剖析成因与高温环境中铜片的延展性能相关,与石墨盘盘洁净度和尺寸精度相关,与烧结后铜片的脱模效果相关。为解决均热板在扩散烧结过程中产生的质量问题,文中进行了铜片高温延展性能的试验,测试石墨盘盘接触面平整度,对扩散烧结参数进行优化,采用氮化硼脱模方法等,保证了均热板在扩散烧结工艺的产品质量。 展开更多
关键词 均热板 扩散焊接 氮化硼 粘连 石墨盘
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真空烤盘炉研制及石墨盘清洁效果检测方法
2
作者 马昊鹏 张革 +3 位作者 邓蕊 杜程 陈世斌 谢力 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第4期353-357,共5页
在金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长过程中作为衬底片承载器的石墨盘表面不可避免地会附着GaN、AlN等残留沉积物,其会导致外延生长异常甚至失败,因此石墨盘表面清洁十分重要。介绍了所研制真空烤盘炉的结构、功能以及烤盘工艺,并提... 在金属有机化学气相沉积(MOCVD)外延生长过程中作为衬底片承载器的石墨盘表面不可避免地会附着GaN、AlN等残留沉积物,其会导致外延生长异常甚至失败,因此石墨盘表面清洁十分重要。介绍了所研制真空烤盘炉的结构、功能以及烤盘工艺,并提出一种利用X射线荧光(XRF)光谱分析法量化盘面清洁效果的方法。以单片6英寸(1英寸≈2.54 cm)衬底片的石墨盘为例,利用XRF光谱分析方法对石墨盘清洁前后的盘面元素组成进行测试,结果显示XRF光谱分析法可准确且稳定地表征石墨盘清洁效果,并且该真空烤盘炉可几乎完全清除石墨盘表面Ga的化合物,为石墨烤盘工艺和行业制定石墨盘清洁的合格标准提供参考。 展开更多
关键词 真空烤盘炉 石墨盘 清洁效果 X射线荧光(XRF)光谱分析法 GaN ALN
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反应离子刻蚀制备石墨烯纳米盘阵列
3
作者 李浩 付志兵 +3 位作者 王红斌 易勇 黄维 张继成 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期94-97,104,共5页
采用化学气相沉积法以乙醇为碳源在铜箔生长的单层高质量的石墨烯并将其转移到SiO_2/Si基底上。然后在通过自组装的方法在石墨烯表面覆盖一层单层的PS微球阵列。采用反应离子刻蚀的方法在一定的刻蚀条件下对其进行刻蚀,随着刻蚀的时间增... 采用化学气相沉积法以乙醇为碳源在铜箔生长的单层高质量的石墨烯并将其转移到SiO_2/Si基底上。然后在通过自组装的方法在石墨烯表面覆盖一层单层的PS微球阵列。采用反应离子刻蚀的方法在一定的刻蚀条件下对其进行刻蚀,随着刻蚀的时间增加,PS微球的会被逐渐刻蚀掉,石墨烯也会在这个过程中随着被刻蚀。将残留的PS微球杂质去掉后,会在SiO_2/Si基底上呈现出排列规整的石墨烯纳米盘阵列。通过场发射扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱对石墨烯纳米盘及其形成过程进行表征和分析,为后续制备高质量石墨烯纳米带、石墨烯纳米点、石墨烯纳米盘提供参考。 展开更多
关键词 石墨烯 化学气相沉积 PS微球 反应离子刻蚀 石墨烯纳米盘阵列
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