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石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化
被引量：
2
1
作者
姜蓓
孙靖宇
刘忠范
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期3-15,共13页
石墨烯晶圆是引领未来的战略材料,在集成电路、微机电系统和传感器等领域具有广阔的应用前景。实现石墨烯晶圆广泛应用的前提是高品质材料的规模化制备。可控性高、工艺兼容性强、成本低的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)...
石墨烯晶圆是引领未来的战略材料,在集成电路、微机电系统和传感器等领域具有广阔的应用前景。实现石墨烯晶圆广泛应用的前提是高品质材料的规模化制备。可控性高、工艺兼容性强、成本低的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)法,是高品质石墨烯晶圆规模化制备的首选方法。本文将综述石墨烯晶圆的CVD制备进展:首先探讨石墨烯晶圆的制备需求,从实用牵引和应用场景出发,提出石墨烯晶圆的制备品质等级;随后重点介绍石墨烯的晶圆级制备方法和石墨烯晶圆材料的规模化制备技术;最后,对石墨烯晶圆可行的制备路线进行总结,并展望未来可能的发展方向。
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关键词
石墨
烯
晶
圆
化学气相沉积
高品质
规模化制备
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职称材料
题名
石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化
被引量：
2
1
作者
姜蓓
孙靖宇
刘忠范
机构
北京大学纳米化学研究中心
北京石墨烯研究院
苏州大学能源学院
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期3-15,共13页
基金
国家重点基础研究发展规划项目(973)(2016YFA0200103)
国家自然科学基金(61527814,51702225)
+1 种基金
北京分子科学国家研究中心(BNLMS-CXTD-202001)
北京市科学技术委员会(Z191100000819004)资助。
文摘
石墨烯晶圆是引领未来的战略材料,在集成电路、微机电系统和传感器等领域具有广阔的应用前景。实现石墨烯晶圆广泛应用的前提是高品质材料的规模化制备。可控性高、工艺兼容性强、成本低的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)法,是高品质石墨烯晶圆规模化制备的首选方法。本文将综述石墨烯晶圆的CVD制备进展:首先探讨石墨烯晶圆的制备需求,从实用牵引和应用场景出发,提出石墨烯晶圆的制备品质等级;随后重点介绍石墨烯的晶圆级制备方法和石墨烯晶圆材料的规模化制备技术;最后,对石墨烯晶圆可行的制备路线进行总结,并展望未来可能的发展方向。
关键词
石墨
烯
晶
圆
化学气相沉积
高品质
规模化制备
Keywords
Graphene wafer
Chemical vapor deposition
High quality
Batch synthesis
分类号
O647 [理学—物理化学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化
姜蓓
孙靖宇
刘忠范
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
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职称材料
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