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用热壁CVD法在SiC衬底上生长SiCGe合金的热场分析与设计 被引量：4
1
作者 蒲红斌 陈治明 +4 位作者 李留臣 封先锋 张群社 沃立民 黄媛媛 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期712-716,共5页
采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究。分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多感应生成焦耳热越大且越均匀的结论,得出了随石墨厚度的增加... 采用有限元法,对热壁CVD法SiCGe合金生长炉中加热组件的感应加热和温度分布进行了研究。分析了感应线圈匝数和石墨衬托的厚度对磁矢势和温度分布的影响,获取了感应线圈数越多感应生成焦耳热越大且越均匀的结论,得出了随石墨厚度的增加升温速率而增加,相反轴向温度均匀性而变差的设计准则。模拟结果表明选取16匝线圈和10mm左右的石墨壁厚为优化的设计参数。 展开更多
关键词 碳化硅 碳硅镓化合物 温度场 优化设计 热壁化学气相沉积法 感应加热 有限元 石墨厚度 感应线圈数 半导体材料
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原子力显微镜法测试石墨烯厚度的数据处理方法对比
2
作者 刘斌 王良旺 +2 位作者 何立粮 徐岩岩 张双红 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第S01期115-120,共6页
原子力显微镜可用于石墨烯厚度的测定。列举三种常用的原子力显微镜厚度数据处理方法:平均值法、最小二乘法和直方图法。从石墨烯原子力显微镜测试图像中选取216组横向截面高度数据,从原理、结果分析、优缺点等方面对三种数据处理方法... 原子力显微镜可用于石墨烯厚度的测定。列举三种常用的原子力显微镜厚度数据处理方法:平均值法、最小二乘法和直方图法。从石墨烯原子力显微镜测试图像中选取216组横向截面高度数据,从原理、结果分析、优缺点等方面对三种数据处理方法进行对比和探讨。结果表明:三种数据处理方法所得厚度结果的相关性极强;平均值法和最小二乘法的厚度计算在数学上是等价的,计算过程均不受数据量影响,最小二乘法拟合的斜率可反映台阶倾斜情况;直方图法可以有效减少吸附污染物和噪声效应对厚度计算的影响,数据量过少不利于高斯拟合,且数据量越大高斯拟合越精准,在数据量较多的情况下宜采用直方图法。 展开更多
关键词 原子力显微镜 石墨烯厚度 平均值法 最小二乘法 直方图法
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某型航空发动机活塞石墨层厚度检测技术的应用与分析
3
作者 张艳琳 李艳 +2 位作者 黄建军 韩勇 李吴寰 《中国设备工程》 2023年第21期192-193,共2页
本文介绍了非接触式涂层测厚仪在航空发动机修理中的应用,重点对活塞石墨层厚度接触式与非接触式检测技术的原理、优缺点和在应用中遇到的故障问题进行了分析和研究。同时,结合某型发动机活塞表面石墨层过厚导致装机后呈片状脱落故障,... 本文介绍了非接触式涂层测厚仪在航空发动机修理中的应用,重点对活塞石墨层厚度接触式与非接触式检测技术的原理、优缺点和在应用中遇到的故障问题进行了分析和研究。同时,结合某型发动机活塞表面石墨层过厚导致装机后呈片状脱落故障,通过对石墨层厚度使用接触式检测技术的改进,分析石墨层超厚脱落的原因,结合先进的光热法非接触式涂层测厚技术的应用,并对如何防止石墨层因测量方法不当导致的涂层过厚装机后再次发生脱落给出相应的改进建议。 展开更多
关键词 接触式涂层检测技术 非接触式涂层检测技术 活塞石墨层厚度检测
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石墨烯厚度与其力-距离关系的实验和模拟研究 被引量：1
4
作者 房勇 金永中 +2 位作者 陈建 宗洪祥 张丽英 《计算物理》 CSCD 北大核心 2021年第4期441-446,共6页
通过原子力显微镜高度曲线确定高度分别为0.57 nm、0.90 nm和1.30 nm三个石墨烯片,随后进行多次力-距离曲线测量。结果发现:三个石墨烯片吸附力数值的平均值分别为0.30 nN、0.32 nN和0.34 nN,脱附力的平均值分别为5.33 nN、5.66 nN和7.2... 通过原子力显微镜高度曲线确定高度分别为0.57 nm、0.90 nm和1.30 nm三个石墨烯片,随后进行多次力-距离曲线测量。结果发现:三个石墨烯片吸附力数值的平均值分别为0.30 nN、0.32 nN和0.34 nN,脱附力的平均值分别为5.33 nN、5.66 nN和7.24 nN。实验显示吸、脱附力随石墨烯厚度的增加单调递增,表明测量力-距离曲线可能成为一种判断石墨烯厚度的方法。为解释不同厚度石墨烯片力-距离曲线,构建铂基底与单、双和三层石墨烯相互作用的共格界面模型,采用第一性原理模拟方法对模型界面分离功和界面电荷转移进行计算。结果发现三个模型界面分离功分别为10.0 eV·nm^(-2)、10.4 eV·nm^(-2)和10.8 eV·nm^(-2),石墨烯片越厚界面分离功越大,计算结果与实验结果中吸附力数值变化趋势相同。 展开更多
关键词 石墨烯厚度 原子力显微镜 力-距离曲线 第一性原理
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