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集成电路静电放电模拟器校准与测量不确定度 被引量：13
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作者 邢荣欣 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2011年第6期528-532,共5页
集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选.本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上,利用高频电流探头和高速率采样示波器实现了对模拟器的校准.文章还并结合校准实例... 集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选.本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上,利用高频电流探头和高速率采样示波器实现了对模拟器的校准.文章还并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定. 展开更多
关键词 集成电路静电放电模拟器 短路电流波形 校准 测量不确定度
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