题名 短波通滤光片膜系设计
被引量:16
1
作者
赵兴梅
师建涛
郭鸿香
机构
西安应用光学研究所
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2006年第5期415-418,共4页
文摘
详细介绍用等效折射率概念设计短波通滤光片的原理和计算方法。根据原理和方法,选择二氧化钛(TiO2)作为高折射率材料、二氧化硅(SiO2)作为低折射率材料。首先从理论上计算出用这2种材料设计的波长A-950~1150nm的短波通滤光片所需要的周期数,然后给出短波通滤光片的主膜系和光谱曲线。由于据此周期数设计出的膜系光谱曲线在750~810nm处的透过率不符合要求,因此对该膜系进行了改进。依照改进的设计进行多次制备,最终制备出了符合要求的短波通滤光片,找到了最佳制备工艺和方法。最后,对制备出来的短波通滤光片薄膜进行了各种环境实验。实验结果表明,膜层的各项指标符合设计要求。
关键词
短波 通 滤光片
膜系设计
等效折射率
周期数数
Keywords
short-wavelength pass filter design of film system equivalent refractive index periodicity
分类号
TN305.8
[电子电信—物理电子学]
题名 中波红外短波通滤光片的设计与镀制技术研究
被引量:11
2
作者
张佰森
陈焘
熊玉卿
王多书
王超
机构
兰州物理研究所表面工程技术重点实验室
出处
《真空与低温》
2010年第3期148-152,共5页
基金
表面工程技术重点实验室基金(9140C540109100C54)资助
文摘
研究了中波红外宽光谱短波通滤光片优化设计和镀制,论述了设计该种滤光片的原则和方法。根据等效折射率理论,以周期性对称膜系为基础,使用部分膜层优化方法,设计了中波红外宽光谱短波通滤光片,在2 300~4 700 nm透射波段范围上的平均透射率设计值大于90%,在5 000~6 300 nm截止波段范围上的平均透射率小于1.00%。采用"会聚光红外光学系统"和等离子体辅助沉积工艺实验制备了滤光片。实验表明,在透射波段范围上的平均透射率约为83%,截止波段的平均透射率约为0.45%。结果表明,部分膜层优化方法设计的膜系,膜层结构简单,有利于膜层厚度的监控。
关键词
中波红外
短波 通 滤光片
薄膜设计
镀制
Keywords
medium-wave infrared
short-wavelength pass filter
, film design
preparation
分类号
O484.4
[理学—固体物理]
题名 窄过渡带短波通滤光镜片设计研究
3
作者
马鸿飞
李丽
杨博
机构
中核四○四有限公司
出处
《科学技术创新》
2023年第10期9-13,共5页
文摘
窄过渡带高反短波通滤光镜片能够高效实现的光分离,减少杂光干扰,因而成为滤光片领域的研究热点之一。事实上,目前市场上的滤光片存在过渡带较宽的问题,即使对过渡带进行优化和工艺改进,也无法满足特定的制造需求。为解决这一问题,针对降低过渡带宽度这一技术难点,从膜系设计展开研究,掌握膜系设计流程和注意事项,为后续高质量窄过渡带短波通滤光片的制备加工奠定理论基础。
关键词
窄过渡带
短波 通 滤光片
膜系设计
Keywords
narrow transition band
short wave pass filter
membrane design
分类号
O484.41
[理学—固体物理]
题名 用于观察瞄准镜的截止滤光片设计和制备
被引量:3
4
作者
庞梦林
周顺
郭峰
杭良毅
肖相国
机构
陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安工业大学
西安应用光学研究所
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期221-227,共7页
基金
陕西省教育厅科研计划重点项目(21JY017)。
文摘
基于观察瞄准镜系统中胶合目镜对滤光片的使用需求,设计了一种用于瞄准镜光学系统的截止滤光片,消除了滤光片的半波孔,压缩了通带波纹。采用电子束热蒸发技术制备了滤光片并测试其透过率,在400 nm~630 nm的平均透过率为95.76%,在655 nm~800 nm的平均透过率为0.06%,样片通过了盐雾测试和机械牢固度测试,制备结果满足设计需求。
关键词
短波 通 滤光片
薄膜制备
半波孔消除
通 带波纹压缩
Keywords
short-wave pass filter
thin film preparation
half-wave hole elimination
passband ripple compression
分类号
O484
[理学—固体物理]
题名 多层介质滤光片的制备及激光损伤特性
被引量:2
5
作者
杭良毅
徐均琪
宋岩峰
苏俊宏
基玛.格拉索夫
机构
西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
西安现代控制技术研究所
白俄罗斯国立信息与无线电电子大学
出处
《西安工业大学学报》
CAS
2016年第12期-,共7页
基金
科技部国际合作资助项目(2013DFR70620)
国家自然科学基金(61378050)
陕西省教育厅科研计划项目(16JS037)
文摘
为了获得具有较高激光损伤阈值的短波通截止滤光片,使用TFCalc膜系软件设计了多层膜的光谱曲线和电场强度曲线,采用电子束热蒸发技术在K9基底上制备了LaTiO_3/SiO_2组合膜堆的滤光片,通过激光辐照预处理工艺尝试提高多层膜的激光损伤阈值(LIDT),测试并讨论了激光预处理对滤光片LIDT的影响.研究结果表明:通过分析滤光片的电场强度,得到优化后的膜系是G|(HL)10 H0.5L|A,制备后滤光片的LIDT为11.7J·cm^(-2)(1 064nm,10ns);当辐照激光能量为滤光片LIDT的80%时,辐照后滤光片的LIDT为14.3J·cm^(-2)(1 064nm,10ns),较原值提高22.2%;当辐照能量为80%,采用不同辐照次数实验时,发现辐照3次后滤光片的LIDT为16.1J·cm^(-2)(1 064nm,10ns),较原值提高了37.6%.激光预处理后滤光片的表面粗糙度都有下降的趋势.
关键词
短波 通 滤光片
LaTiO3/SiO2
激光损伤阈值
激光预处理
Keywords
short-wavelength pass filter
LaTiO3/SiO2
laser-induced damage threshold
laser pre-treatment
分类号
O484.41
[理学—固体物理]
TN249
[理学—物理]
题名 倍频分离薄膜中的半波孔抑制研究
被引量:1
6
作者
鲍刚华
谢雨江
王奔
梁玉
机构
上海米蜂激光科技有限公司
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2021年第19期403-407,共5页
基金
多波段超高性能光学薄膜研发及产业化(ZN2018010210)。
文摘
经典短波通膜堆(0.5LH0.5L)^(n)会由于薄膜的折射率不均匀性而产生半波孔现象。在进行膜系结构设计时,通常将薄膜假定为均匀折射率材料,当薄膜的光学厚度为1/2中心波长时,薄膜可被视为虚设层。而在实际制备时,薄膜的折射率通常存在一定的不均匀性,薄膜的光学厚度与设计值不符,从而产生半波孔。对薄膜的基本周期结构进行了优化,优化后的膜系结构在半波处的光学导纳不再受折射率不均匀性的影响。在此基础上,设计并制备了倍频分离薄膜,有效消除了半波孔现象,理论和实验光谱曲线具有很好的一致性。
关键词
薄膜
短波 通 滤光片
半波孔
导纳
折射率不均匀
Keywords
thin films
short-wave pass filter
half-wave hole
admittance
refractive index inhomogeneity
分类号
O484
[理学—固体物理]
题名 指纹仪系统宽截止短波通滤光片的研制
被引量:1
7
作者
于玥
付秀华
孟嘉译
机构
长春理工大学光电工程学院
出处
《长春理工大学学报(自然科学版)》
2010年第1期57-59,共3页
文摘
为满足指纹仪系统中光学元件的使用要求,常采用干涉截止滤光片使一部分光透过而另一部分光截止,由于截止带要求较宽,为了展宽截止带,采用在一个多层膜的基础上加镀一个不同中心波长多层膜的方法设计膜系,通过对膜系的优化压缩了通带的波纹,用电子束蒸发法进行膜层制备,采用石英晶体振荡法控制膜厚,通过对工艺参数的调整有效的减少了TiO2材料的吸收,最终制备出的膜层在380~550nm平均透过率T>90%,570~900nm平均反射率R>99%,满足指纹仪系统的使用要求。
关键词
光学薄膜
指纹仪系统
短波 通 滤光片
宽截止
晶控
Keywords
optical thin film
fingerprint instrument systems
short-wavelength pass filter
the close band of wide range
crystal control
分类号
O434.19
[机械工程—光学工程]
题名 太阳能分光发电系统的光学薄膜滤波片设计与仿真
8
作者
聂晶
刘文
王双保
机构
武汉光电国家实验室华中科技大学光电子科学与工程学院
出处
《光学与光电技术》
2011年第5期12-15,共4页
文摘
由于不同材料的禁带宽度不同,对太阳光谱的吸收曲线也各不相同,探讨了用等效折射概念设计滤光片的原理和计算方法。针对非晶硅、单晶硅和砷化镓的吸收谱线设计了一组短波通滤光片,滤波片A在波长380~800nm处,平均透射率T〉90%;在波长880~1100nm处截止,平均透射率T〈1%;滤波片B在380~500nm处T〉90%,在波长580~800nm处T〈1%。根据短波通滤光片设计原理,采用TiO_2和SiO_2作为高折射率材料和低折射率材料,基础膜系为(0.5LH0.5L)~s。从理论上计算出这两种材料所需要的周期数以及主膜系,并用镀膜设计软件TFCALC对该膜系进行优化。
关键词
太阳能发电
单晶硅
砷化镓
非晶硅
吸收谱线
短波 通 滤光片
周期膜系
Keywords
solar power
amorphous silicon
monocrystalline silicon
GaAs
absorption curve
short-wavelength pass filter
periodicity
分类号
O484
[理学—固体物理]
题名 膜层渗透产生短波通截止滤光片半波孔现象的分析
被引量:8
9
作者
薛建军
朱建华
蒋茂清
金崇伟
机构
四川大学物理科学与技术学院
出处
《光散射学报》
2008年第4期319-323,共5页
文摘
半波孔现象的出现会极大地影响短波通截止滤光片的光谱性能,已有文献报道膜料色散、膜层折射率非均匀性以及膜厚控制误差积累等是产生半波孔现象的几个可能因素。本文通过模拟计算发现膜层间的相互渗透也是产生半波孔现象的重要原因之一,分析表明不同的渗透模式对半波孔现象的形成及大小具有不同的影响。
关键词
光学薄膜
短波 通 截止滤光片
半波孔
膜层渗透
Keywords
optical thin film
short - wave pass filter
half - wave hole
film infiltration
分类号
O484.5
[理学—固体物理]
题名 光纤公共电视天线传输系统中短波通截止滤光片
被引量:2
10
作者
吴博琦
董连和
孙艳军
冷雁冰
王丽
张恒煦
机构
长春理工大学光电工程学院
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期174-179,共6页
基金
国家自然科学基金(11474037)
高等学校博士学科点专项科研基金(20112216120005)
+1 种基金
吉林省科技发展计划(20121816
201201116)
文摘
短波通截止滤光片(SWPF)能够对公共电视天线(CATV)传输系统中的不同信号进行抑制和区分,是光纤CATV传输系统中的重要组成器件。为了降低传输噪声,改善信号传输质量,针对传输系统中截止滤光片的参数要求,选择适合的薄膜材料。通过建立膜系结构的等效层模型,对其求导模拟测试结果,并对膜料光控tooling值及对特定敏感度较高膜层的膜厚进行调整,解决了实际镀膜过程中的膜层失配问题,制备了采用较少膜层的短波通截止滤光片,在1110~1360nm波段反射率小于1%,在1490nm±20nm波段透射率小于0.08%,在1550nm±20nm波段透射率小于0.05%。该滤光片可以满足CATV传输系统环境使用要求。
关键词
薄膜
短波 通 截止滤光片
膜系结构
公共电视天线系统
工艺改善
Keywords
thin films
shortwave pass cutoff filter
film structure
community antenna television systems
processimprovement
分类号
O484
[理学—固体物理]
题名 薄膜材料与器件
11
出处
《中国光学》
EI
CAS
2001年第1期70-70,共1页
文摘
O484.4 2001010469近红外干涉滤光片=A near infrared interferencefilters[刊,中]/洪冬梅,朱震(华北光电技术所.北京(100015))∥激光与红外.-2000,30(2).-119-120介绍了一种截止带非常宽的近红外耐久滤光片的设计制作方法。采用了Si、SiO<sub>2</sub>做薄膜材料,利用中心波长不同的两个短波通滤光片对接,实现很宽的截止带。分析了膜系设计的一些细节。图2(李瑞琴)
关键词
薄膜材料
近红外
制作方法
短波 通 滤光片
截止带
干涉滤光片
场电子发射
光电技术
膜系设计
中心波长
分类号
O434.3
[机械工程—光学工程]
O436.1
[理学—光学]