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用水分子质谱仪进行电容器真空浸渍过程终点判断的研究
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作者 于胜斌 乔保振 +3 位作者 于清明 张保国 王英武 乔木 《真空》 CAS 2020年第1期11-16,共6页
如何在保证电容器真空浸渍质量的前提下,尽量缩短抽真空时间、降低成本,是各个电容器生产厂家非常关注的问题。长期以来,由于没有客观的测量数据对真空浸渍终点进行有效判断,往往使得抽真空阶段时间无故延长。本文介绍一种最新研制成果... 如何在保证电容器真空浸渍质量的前提下,尽量缩短抽真空时间、降低成本,是各个电容器生产厂家非常关注的问题。长期以来,由于没有客观的测量数据对真空浸渍终点进行有效判断,往往使得抽真空阶段时间无故延长。本文介绍一种最新研制成果水分子质谱仪,可测量和计算出被抽气体水蒸气分子的个数。从分子量级,对电容器真空浸渍终点进行判断,从而实现对真浸过程的终了时间进行准确有效地判断。 展开更多
关键词 真空浸渍 真空终点判断 质谱 残余气体 水质谱仪
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