固定流导法真空漏孔校准装置 被引量：30

1

作者 李得天 郭美如 +4 位作者 葛敏 张周焕 王占忠 刘波 杨新民 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期358-362,共5页

为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.... 为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.7×10-6Pa,漏率校准范围为10-5Pa.m3/s^10-11Pa.m3/s,合成标准不确定度为1.4%~4.2%。 展开更多

关键词 真空漏孔 校准装置 固定流导法 四极质谱计

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便携式真空漏孔校准装置 被引量：21

2

作者 卢耀文 陈旭 +3 位作者 李得天 刘波 齐京 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1179-1183,共5页

针对现场检漏对漏率校准的需求，研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置。采用标准流量系统提供可调的气体流量，通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体（He气）的分压力实现校... 针对现场检漏对漏率校准的需求，研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置。采用标准流量系统提供可调的气体流量，通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体（He气）的分压力实现校准。标准气体流量系统采用直径约为1μm的小孔获得了10^-10m3／s量级的分子流导，仅用一台满量程为1．33×104Pa的电容薄膜规真空计（coc）作为参考标准，通过直接测量和膨胀衰减压力两种方法为小孔入口提供标准压力，从而获得较宽范围的标准气体流量。研究结果表明，装置的校准范围为3．5×10^-6-4．6×10^-11Pa·m3／s，合成标准不确定度为1.8％～2．O％，外形尺寸减小到400mm×300mm×400mm，总重量小于35奴。 展开更多

关键词 真空漏孔 计量 校准 便携式

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一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置 被引量：18

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作者 卢耀文 陈旭 +4 位作者 李得天 齐京 刘波 闫睿 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期504-509,共6页

为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子... 为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通过累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;采用激光打孔和多次镀膜的方式获得10-10m3/s量级的分子流导,用吸气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计对固定流导元件入口He气压力测量下限可达10-4Pa,从而获得下限为1.3×10-14Pa·m3/s的标准气体流量。研究结果表明,装置采用He气作为示漏气体的校准范围为10-12~1.3×10-14Pa·m3/s,合成标准不确定度为5.2%~5.8%。 展开更多

关键词 累积法 固定流导法 真空漏孔 漏率

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定容式流导法微流量校准装置 被引量：13

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作者 张涤新 郭美如 +8 位作者 冯焱 赵澜 李得天 赵定众 李正海 成永军 李莉 龚月莉 孙海 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期21-25,共5页

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %～ 1.7%。

关键词 流量计 流量校准 真空漏孔

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比对法漏率校准装置 被引量：6

5

作者 张涤新 冯焱 +2 位作者 张建军 郭美如 沈辉 《真空》 CAS 北大核心 2002年第4期14-17,共4页

比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4～ 10 - 9Pa· m3/s;相对合成标淮不确定度为小于 10 %。相对比对法的校准范围为 10 - 6～10 - 1 0 Pa· m3/s,... 比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4～ 10 - 9Pa· m3/s;相对合成标淮不确定度为小于 10 %。相对比对法的校准范围为 10 - 6～10 - 1 0 Pa· m3/s,相对合成标准不确定度为小于 2 5 %。 展开更多

关键词 比对法 漏率校准装置 真空计量 漏率校准 真空漏孔

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不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响 被引量：5

6

作者 钟博扬 王维 +3 位作者 李芳芳 叶小球 陈长安 罗文华 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期345-350,共6页

针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^(-6)Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后... 针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^(-6)Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小,并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔漏率的影响。 展开更多

关键词 真空漏孔 漏率 校准 粘滞-分子流

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动态比较法校准正压漏孔的漏率 被引量：4

7

作者 孟扬 张涤新 +1 位作者 吕时良 龚月莉 《中国空间科学技术》 EI CSCD 北大核心 1998年第4期56-61,共6页

介绍了校准正压漏孔漏率的动态比较法，可以校准的正压漏孔漏率范围为１×１０－４～１×１０－７Ｐａｍ３／ｓ。参考漏孔动态比较法是用一只漏率已知的正压漏孔作参考标准，分别让示漏气体通过参考正压漏孔或被校正压漏孔后，... 介绍了校准正压漏孔漏率的动态比较法，可以校准的正压漏孔漏率范围为１×１０－４～１×１０－７Ｐａｍ３／ｓ。参考漏孔动态比较法是用一只漏率已知的正压漏孔作参考标准，分别让示漏气体通过参考正压漏孔或被校正压漏孔后，在内充大气的累积容器中累积不同的时间，产生大致相同的示漏气体增量；静态膨胀后，测量它们在动态流量法系统中产生的动态平衡分压力，再进行线性近似比较计算出被校正压漏孔的漏率。定量气体动态比较法是采用定量的示漏气体作参考标准，替代参考漏孔动态比较法中示漏气体通过参考正压漏孔后在累积容器中的累积量。 展开更多

关键词 正压漏孔 泄漏率 校准 动态比较法 真空漏孔

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恒压式气体微流量计测控系统的设计 被引量：4

8

作者 冯焱 成永军 +2 位作者 赵定众 张涤新 李得天 《真空》 CAS 北大核心 2004年第2期37-40,共4页

介绍了恒压式气体微流量计的测量原理及其测控系统的设计方案 ,对压力测量、变容室气体温度测量、变容室体积变化率测量、恒压控制等关键技术进行了详细说明。该测控系统的应用可以使气体微流量计的测量范围和不确定度均优于设计指标。

关键词 恒压式气体微流量计 测控系统 系统设计 不确定度 真空规 真空漏孔

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正压漏孔校准装置的不确定度评定 被引量：1

9

作者 张涤新 张建军 +2 位作者 许珩 冯炎 龚月莉 《宇航计测技术》 CSCD 2000年第4期36-41,共6页

介绍了正压漏孔校准装置的不确定度评定。该装置是一种校准气体漏率的计量标准 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准 ,校准范围为 (1 0 2 ～ 5× 1 0 -5 )Pa·L/s。

关键词 真空标准 正压漏孔 不确定度评定 定容法 真空漏孔 定量气体动态比较法

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真空漏率校准装置的使用 被引量：1

10

作者 刘兴胜 解永蓉 郑颖 《计量技术》 2017年第1期75-77,共3页

真空漏率校准装置主要用于校准真空计和真空漏孔。简述了真空漏率校准装置的工作原理，讨论了使用中应注意的六个方面。

关键词 真空漏率校准装置 工作原理 真空计 真空漏孔

原文传递

毛细管型真空漏孔及其计量特性研究 被引量：1

11

作者 赵澜 成永军 +12 位作者 孙雯君 曾翔 翁俊 董猛 陈联 管保国 张瑞芳 陈会颖 孙冬花 丁栋 冯天佑 李明 张旭 《真空与低温》 2022年第6期713-719,共7页

自主研制了毛细管型真空漏孔,介绍了其结构组成。对该漏孔的温度特性、年衰减率、重复性及稳定性进行了实验研究。结果表明,该漏孔的温度系数小于1.0%,年衰减率小于1.0%,重复性小于0.3%,采用氦质谱检漏仪实际使用12 h稳定性小于1.0%。... 自主研制了毛细管型真空漏孔,介绍了其结构组成。对该漏孔的温度特性、年衰减率、重复性及稳定性进行了实验研究。结果表明,该漏孔的温度系数小于1.0%,年衰减率小于1.0%,重复性小于0.3%,采用氦质谱检漏仪实际使用12 h稳定性小于1.0%。研制的毛细管型真空漏孔在真空检漏中具有广泛应用前景。 展开更多

关键词 毛细管型 真空漏孔 温度系数 年衰减率 重复性 稳定性

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现场真空漏孔校准装置的设计 被引量：2

12

作者 赵澜 冯焱 +5 位作者 成永军 张涤新 杨长青 张瑞芳 董猛 孙雯君 《真空与低温》 2014年第6期357-359,368,共4页

为了减小现场环境与校准环境的差异对真空漏孔校准的影响，通过理论研究，设计了现场真空漏孔校准装置，可实现对真空漏孔的现场校准。考虑到现场真空漏孔校准装置需便于携带及搬运，装置的设计采用了分体式结构。现场真空漏孔校准装置... 为了减小现场环境与校准环境的差异对真空漏孔校准的影响，通过理论研究，设计了现场真空漏孔校准装置，可实现对真空漏孔的现场校准。考虑到现场真空漏孔校准装置需便于携带及搬运，装置的设计采用了分体式结构。现场真空漏孔校准装置由抽气系统、校准室系统、真空漏孔连接系统、流量输出系统、充气系统、定容室与压力测量系统及烘烤系统等7个部分组成，复合了定容法及固定流导法两种校准方法，预计真空漏孔校准范围为5＆#215;10-10～5＆#215;10-5 Pa？m3/s，合成标准不确定度为10％。 展开更多

关键词 校准装置 校准方法 真空漏孔 现场

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静态累积比较法真空漏孔校准方法研究 被引量：2

13

作者 赵澜 成永军 +3 位作者 孙雯君 陈联 冯天佑 吉康 《真空》 CAS 2019年第3期44-47,共4页

静态累积比较法校准真空漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空漏孔累积过程中离子流变化量而实现的。本文主要介绍了静态累积比较法真空漏孔的校准方法、装置原理、校准过程、校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度... 静态累积比较法校准真空漏孔是通过四极质谱计测量标准气体流量计与被校真空漏孔累积过程中离子流变化量而实现的。本文主要介绍了静态累积比较法真空漏孔的校准方法、装置原理、校准过程、校准结果的处理等,并提出了减小测量不确定度的影响因素。 展开更多

关键词 静态累积比较 真空漏孔 校准方法

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相对法校准真空漏孔及不确定度的评定 被引量：2

14

作者 刘兴胜 解永蓉 +1 位作者 郑颖 费渭南 《真空》 CAS 2019年第2期66-68,共3页

相对法校准真空漏孔是通过比较四极质谱计采集的电流值,根据已知标准漏孔漏率计算出被校真空漏孔漏率的一种方法。使用真空漏率校准装置,能方便的校准真空漏孔,且不确定度符合量值传递要求,满足了实际需要。主要介绍了相对法校准真空漏... 相对法校准真空漏孔是通过比较四极质谱计采集的电流值,根据已知标准漏孔漏率计算出被校真空漏孔漏率的一种方法。使用真空漏率校准装置,能方便的校准真空漏孔,且不确定度符合量值传递要求,满足了实际需要。主要介绍了相对法校准真空漏孔的原理,过程及不确定度的评定。 展开更多

关键词 相对法 真空漏孔 校准原理 校准过程 不确定度

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微纳通道型真空漏孔研究进展 被引量：1

15

作者 林文豫 王旭迪 《真空与低温》 2020年第1期48-54,共7页

传统真空漏孔存在难以实现尺寸可控制作、分子流压力范围有限等问题,而利用微纳通道型真空漏孔可以有效解决上述问题。本文阐述了一维/二维微纳通道型真空漏孔的加工方法,即使用光学曝光、刻蚀工艺在硅基底上制备微纳沟槽,结合键合技术... 传统真空漏孔存在难以实现尺寸可控制作、分子流压力范围有限等问题,而利用微纳通道型真空漏孔可以有效解决上述问题。本文阐述了一维/二维微纳通道型真空漏孔的加工方法,即使用光学曝光、刻蚀工艺在硅基底上制备微纳沟槽,结合键合技术实现微纳通道密封;通过金属封装、玻璃浆料键合、毛细管连接工艺实现硅基微纳通道型真空漏孔与金属真空法兰的封装连接。该类型漏孔有望在真空计量、极小流量控制和漏率测试等方面取得应用。 展开更多

关键词 真空漏孔 微纳通道 真空封装 分子流

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2019年《真空》杂志论文题录索引

16

《真空》 CAS 2019年第6期87-88,共2页

关键词 真空离子镀膜 《真空》 真空漏孔 题录索引 杂志论文

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分流法真空漏孔校准装置不确定度的评定 被引量：1

17

作者 查永康 赵澜 《真空与低温》 2018年第6期423-426,共4页

分流法校准真空漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计分流后的实用标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值。主要介绍了分流法真空漏孔的校准方法、装置原理,对不确定度进行了分析,从气体流量计、分流比、四极质谱计等方... 分流法校准真空漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计分流后的实用标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值。主要介绍了分流法真空漏孔的校准方法、装置原理,对不确定度进行了分析,从气体流量计、分流比、四极质谱计等方面对真空漏孔校准装置的不确定度进行评定,提高了校准装置校准的可靠性。 展开更多

关键词 分流法 真空漏孔 校准 不确定度

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固定流导法校准真空漏孔方法研究 被引量：10

18

作者 李得天 郭美如 +5 位作者 冯焱 葛敏 张周焕 王占忠 刘波 杨新民 《真空与低温》 2005年第4期197-204,共8页

固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高。通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可达38%,在具体校准过程中能够很好调节稳压室中的气体压力,使通过小孔的气体流量与待校真空漏孔漏率非常接近... 固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高。通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可达38%,在具体校准过程中能够很好调节稳压室中的气体压力,使通过小孔的气体流量与待校真空漏孔漏率非常接近,从而避免了四极质谱计的非线性影响。稳压室中的气体压力比较大,所以稳压室不需要特别严格的材料处理工艺,具体校准过程中也不需要彻底的烘烤出气就能得到纯净的单一气体。固定流导法校准真空漏孔的不确定度的评定值为2.6%,可以通过精确校准电容薄膜规和控制温度来进一步降低漏孔校准的不确定度。 展开更多

关键词 固定流导法 真空漏孔校准 不确定度分析

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渗氦型真空漏孔漏率的温度修正 被引量：6

19

作者 赵澜 张涤新 +1 位作者 郭美如 冯焱 《真空与低温》 2007年第2期90-93,110,共5页

由于石英材料的渗透系数与温度成指数函数关系,因此渗氦型真空漏孔对温度非常敏感,在使用时需要对漏孔校准值进行温度修正。通过对一支渗氦型真空漏孔在16～40℃温度范围内的漏率校准,给出了漏率随温度变化的2种修正方法——指数修正法... 由于石英材料的渗透系数与温度成指数函数关系,因此渗氦型真空漏孔对温度非常敏感,在使用时需要对漏孔校准值进行温度修正。通过对一支渗氦型真空漏孔在16～40℃温度范围内的漏率校准,给出了漏率随温度变化的2种修正方法——指数修正法和线性修正法,以及2种方法的修正结果。 展开更多

关键词 渗氦型真空漏孔 漏率 温度修正

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固定流导法真空漏孔校准装置性能研究 被引量：2

20

作者 刘波 丁立莉 《真空与低温》 2011年第1期48-52,共5页

固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是采用机械、激光等方法加工制成,在分子流条件下,小孔流导为一常数。运用此方法,建立了一套真空检漏校准装... 固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是采用机械、激光等方法加工制成,在分子流条件下,小孔流导为一常数。运用此方法,建立了一套真空检漏校准装置以进行量值传递工作。为了保证校准数据的准确可靠性,需对该套装置的不确定度进行分析与评定。 展开更多

关键词 固定流导法 真空漏孔校准 不确定度分析 稳定性 重复性

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