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基体负偏压对CrAlN涂层组织和性能的影响 被引量：4
1
作者 常伟 牟仁德 +3 位作者 商晓宇 何利民 陆峰 汤智慧 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期32-37,共6页
采用真空多弧离子镀技术,使用Cr30Al70(原子分数)复合靶,在不同的基体负偏压下,在不锈钢基体上制备了一系列CrAlN涂层;采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、粗糙度仪、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和划痕仪等系统分析了涂层的成分... 采用真空多弧离子镀技术,使用Cr30Al70(原子分数)复合靶,在不同的基体负偏压下,在不锈钢基体上制备了一系列CrAlN涂层;采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、粗糙度仪、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和划痕仪等系统分析了涂层的成分、表面形貌、相结构、粗糙度、显微硬度、摩擦磨损性能和界面结合性能。结果表明:随着负偏压的增大,涂层中x(Cr)/x(Cr+Al)的比值先增大后减小,当负偏压为150V时,该值达到最大,并与靶材成分接近;基体负偏压为200V时,涂层的表面粗糙度最大,涂层结晶度、硬度最佳,晶体相为固溶铬的面心立方AlN;涂层的摩擦磨损性能不仅与涂层的表面粗糙度相关,还与涂层非晶相中铝元素的含量以及涂层的内应力大小密切相关;界面过渡层制备工艺相同时,基体偏压对涂层和基体之间的界面结合性能影响较小。 展开更多
关键词 真空多弧离子镀 复合靶 CrAlN涂层 显微组织
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金属Tb晶界扩散对烧结钕铁硼磁性和耐温性的影响 被引量：2
2
作者 段永利 邓文宇 +3 位作者 齐丽君 刘坤 孙宝玉 王庆 《真空》 CAS 2018年第6期76-79,共4页
本文采用了真空多弧离子镀的方法在烧结钕铁硼磁体表面沉积Tb金属薄膜,并对镀膜磁体进行真空热处理,使表面的Tb金属向磁体内部晶界扩散,研究经过金属Tb晶界扩散处理的磁体的磁性和耐温性。结果表明,经过晶界扩散处理,金属Tb进入了距离... 本文采用了真空多弧离子镀的方法在烧结钕铁硼磁体表面沉积Tb金属薄膜,并对镀膜磁体进行真空热处理,使表面的Tb金属向磁体内部晶界扩散,研究经过金属Tb晶界扩散处理的磁体的磁性和耐温性。结果表明,经过晶界扩散处理,金属Tb进入了距离钕铁硼磁体表层一定深度范围内的晶界中,磁体的内禀矫顽力Hcj提高了9000～10000Oe,磁体的高温不可逆磁损失大幅降低,磁体的内禀矫顽力和耐温性能显著提高。 展开更多
关键词 Tb金属薄膜 晶界扩散 烧结钕铁硼 耐温性 真空多弧离子镀
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离子束辅助真空电弧沉积Zr—Ni—N薄膜的研究 被引量：1
3
作者 吴健 胡社军 +2 位作者 曾鹏 李宇恒 谢光荣 《工具技术》 北大核心 2006年第12期15-17,共3页
采用多弧离子镀技术在高速钢和单晶硅基体上制备Zr-Ni-N复合薄膜,研究了低能氮离子束对Zr-Ni-N涂层结构、表面形貌和硬度的影响。研究表明:用低能氮离子束辅助真空电弧沉积Zr-Ni-N膜,ZrN结构在(111)晶面出现一定的择优取向,并对Zr-Ni-N... 采用多弧离子镀技术在高速钢和单晶硅基体上制备Zr-Ni-N复合薄膜,研究了低能氮离子束对Zr-Ni-N涂层结构、表面形貌和硬度的影响。研究表明:用低能氮离子束辅助真空电弧沉积Zr-Ni-N膜,ZrN结构在(111)晶面出现一定的择优取向,并对Zr-Ni-N膜层有一定的强化作用,膜层表现出较高的显微硬度。 展开更多
关键词 离子束 真空多弧离子镀 Zr-Ni-N薄膜
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基于柱状电弧靶的高沉积率真空多弧离子镀装备设计
4
作者 董小虹 卢泽坚 +1 位作者 常玉敏 万庆海 《机电工程技术》 2023年第11期266-268,308,共4页
涡轮涡扇发动机叶片、汽轮机叶片、压铸模具、轴承等零件的耐磨和耐热性能都需要50~100μm的耐热和耐磨涂层,而目前国内真空电弧离子镀设备的沉积效率一般在4~8μm/h,无法满足一次50μm以上的涂层要求。介绍一种特殊设计的柱状电弧靶,... 涡轮涡扇发动机叶片、汽轮机叶片、压铸模具、轴承等零件的耐磨和耐热性能都需要50~100μm的耐热和耐磨涂层,而目前国内真空电弧离子镀设备的沉积效率一般在4~8μm/h,无法满足一次50μm以上的涂层要求。介绍一种特殊设计的柱状电弧靶,两端连接到高电压大电流的弧电源上,通过PLC控制系统反复进行正负极输入切换改变作用在柱状阴极靶靶面的电磁场方向,使处于靶面的弧斑沿着柱状靶面作向上或向下螺旋运动,从而形成弧斑在柱状阴极靶的靶面作上下反复螺旋运动,使阴极靶面上的材料高速离化,并通过工件与炉壳之间的偏压将靶材形成的等离子体引向工件表面,形成工件表面快速循环沉积结构,使工件表面最终快速的获得厚涂层,同时极大提高了靶材利用率,从而节约成本。该装置可在复杂的零件表面快速一次性沉积形成高效率(15~20μm/h)、低成本、高性能的较厚涂层,涂层厚度可达50~100μm。该厚涂层性能能够满足飞机发动机叶片、汽轮机叶片、压铸模具、轴承等零件的耐磨和耐热性能要求。 展开更多
关键词 柱状电弧靶 高沉积率 真空多弧离子镀装备
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真空阴极多弧离子镀不同厚度四面体非晶碳薄膜的结构和性能 被引量：3
5
作者 李玉婷 代明江 +5 位作者 李洪 林松盛 石倩 韦春贝 苏一凡 郭朝乾 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2018年第16期716-721,共6页
以真空阴极多弧离子镀技术在P(100)型单晶抛光硅衬底和YG6硬质合金上制备了四面体非晶碳(ta-C)薄膜。用扫描电镜(SEM)测量薄膜厚度,并观察其表面及断面形貌;用X射线衍射仪(XRD)分析薄膜的相组成;用拉曼光谱标定薄膜中的sp3键和sp2键;用... 以真空阴极多弧离子镀技术在P(100)型单晶抛光硅衬底和YG6硬质合金上制备了四面体非晶碳(ta-C)薄膜。用扫描电镜(SEM)测量薄膜厚度,并观察其表面及断面形貌;用X射线衍射仪(XRD)分析薄膜的相组成;用拉曼光谱标定薄膜中的sp3键和sp2键;用轮廓仪测量薄膜的表面粗糙度;用划痕法和压痕法测试了膜/基结合强度。在0.5~1.5μm的厚度范围内,随着ta-C薄膜厚度增加,薄膜的sp3键含量逐渐降低,表面碳颗粒数量及尺寸逐渐增加,与YG6基体的结合强度不断降低。0.5μm厚的ta-C薄膜具有最小的表面粗糙度(0.17μm),最高的结合强度(剥离时的临界载荷为61 N,压痕等级为HF2),表现出最优的综合力学性能。 展开更多
关键词 真空阴极多弧离子镀 硬质合金 四面体非晶碳 薄膜 形貌 粗糙度 拉曼光谱 结合强度
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基体材料对AlCrN硬质涂层结构及摩擦学性能的影响 被引量：1
6
作者 邰清安 柳琪 +3 位作者 国振兴 王进 马大衍 宋忠孝 《铸造技术》 北大核心 2017年第9期2141-2144,2151,共5页
采用真空阴极多弧离子镀技术,分别在Cr8、W6、Cr12及V-4E四种不同材质模具钢表面制备了Al Cr N多元纳米硬质涂层。利用划痕仪、工具显微镜、HV显微硬度计、球磨仪、SEM及XRD对Al Cr N涂层硬度,膜层厚度、结合力、摩擦系数进行了对比测试... 采用真空阴极多弧离子镀技术,分别在Cr8、W6、Cr12及V-4E四种不同材质模具钢表面制备了Al Cr N多元纳米硬质涂层。利用划痕仪、工具显微镜、HV显微硬度计、球磨仪、SEM及XRD对Al Cr N涂层硬度,膜层厚度、结合力、摩擦系数进行了对比测试,并对涂层磨痕宽度、划痕宽度、表面形貌及相结构进行了表征。结果表明:相对于其它三种基材,V-4E基材的Al Cr N涂层显微硬度更高、膜基结合力更好、摩擦系数更低、耐磨性最好;四种基材的表面形貌基本一致,均有大颗粒及凹坑,V-4E基材Al Cr N涂层的晶粒尺寸最小,沉积的Al Cr N涂层结构更致密,耐磨性更优异。 展开更多
关键词 真空阴极多弧离子镀 纳米硬质涂层 结合力 耐磨性
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PVD强化涂层在辊轧模具上的应用
7
作者 彭新 王福德 +2 位作者 国振兴 曹家洺 李建福 《航空发动机》 北大核心 2021年第S01期133-138,共6页
为了解决冷辊轧模具寿命短、人工修复周期长、修复一致性差等问题,提高了模具耐磨性,延长模具使用寿命,在辊轧模具表面涂敷了PVD强化涂层。采用真空阴极多弧离子镀技术,在不同材质模具钢表面制备AlCrN多元纳米硬质涂层。试验样品基材选... 为了解决冷辊轧模具寿命短、人工修复周期长、修复一致性差等问题,提高了模具耐磨性,延长模具使用寿命,在辊轧模具表面涂敷了PVD强化涂层。采用真空阴极多弧离子镀技术,在不同材质模具钢表面制备AlCrN多元纳米硬质涂层。试验样品基材选用Cr8W1Mo2V2SiNb、W6、Cr12MoVCo及V-4E工具钢作为样品基体,采用2种工艺制备硬质PVD涂层,V-4E基材AlCrN涂层的晶粒尺寸最小,沉积的AlCrN涂层结构更致密。V4E+CrAlSiN强化体系获得最优的综合测试性能。验证结果表明:涂敷PVD强化涂层可使模具寿命提高20倍以上。 展开更多
关键词 辊轧模具 物理气相沉积强化涂层 真空阴极多弧离子镀 航空发动机
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