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高精度电感式传感器测量系统设计 被引量：2
1
作者 郭键 董萍萍 《工具技术》 2010年第6期88-90,共3页
基于对传感器测量系统精度影响因素的分析,利用数字合成、相敏检波、相位预调整技术改善了电感式传感器测量系统的精度,研制了差动式电感传感器。实验表明,利用该技术实现了高精度电感式传感器测量系统的设计,使该系统达到深亚微米测量... 基于对传感器测量系统精度影响因素的分析,利用数字合成、相敏检波、相位预调整技术改善了电感式传感器测量系统的精度,研制了差动式电感传感器。实验表明,利用该技术实现了高精度电感式传感器测量系统的设计,使该系统达到深亚微米测量精度。 展开更多
关键词 电感式传感器 数字合成技术 相敏检波 相位预调整
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