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基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法 被引量：6
1
作者 冯金花 胡松 +1 位作者 李艳丽 何渝 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期194-199,共6页
随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平板的相位调整,硅片位... 随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平板的相位调整,硅片位移的变化会引起调制光强发生正余弦变化。根据光强的正余弦变化,求出焦面位移量。经实验与数据分析,该方法具有纳米级的检焦精度,且具有实时性强、非接触等特点,能满足100 nm投影光刻中焦面检测的需要。 展开更多
关键词 测量 纳米检焦 相位解析 光弹调制 横向剪切板
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植物叶片的相位解析光声光谱和光声相位谱 被引量：2
2
作者 杜浩 方健文 郑金菊 《生物化学与生物物理进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1994年第2期158-161,共4页
用相位解析法获得的未损伤植物叶片叶肉组织的光声光谱，与叶片的光声相位谱进行了比较．发现植物叶片的光声相位谱与叶绿体光吸收带之间呈现互补关系．叶片表皮的光声相位谱存在持有的波谷结构．不同调制频率的光声相位谱有较大的差异... 用相位解析法获得的未损伤植物叶片叶肉组织的光声光谱，与叶片的光声相位谱进行了比较．发现植物叶片的光声相位谱与叶绿体光吸收带之间呈现互补关系．叶片表皮的光声相位谱存在持有的波谷结构．不同调制频率的光声相位谱有较大的差异．这些现象表明光声相位谱与光声光谱一样，也可对未损伤的层状生物样品作深度剖面分析． 展开更多
关键词 相位解析 光声光谱 光声相位谱
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基于复合光栅的大范围高精度对准方法 被引量：3
3
作者 司新春 唐燕 +5 位作者 胡松 刘俊伯 程依光 胡淘 周毅 邓钦元 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期23-31,共9页
提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精对准;通过直接求取大... 提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精对准;通过直接求取大周期光栅位置实现粗对准。由于两个方向上的光栅相互正交,傅里叶变换提取频谱时将不受影响。分别分析小周期光栅的叠栅条纹相位分布,以及大周期光栅的强度分布,实现大范围、高精度对准。推导了基片、掩模相对移动量与复合光栅变化之间的关系。通过计算机模拟对该对准方法进行了仿真分析,考虑噪声的基础上,对准精度可以达到16.5 nm;通过实验系统对该对准方法进行了验证与分析,对准精度可以达到30.19 nm。 展开更多
关键词 光栅 傅里叶光学 光刻对准 复合光栅 叠栅条纹 相位解析
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光声光谱法测定枪药表面高分子钝感剂的浓度分布 被引量：2
4
作者 潘清 陈智群 +1 位作者 王明 汪渊 《光谱实验室》 CAS CSCD 2005年第5期908-912,共5页
采用步进扫描傅里叶变换红外光声光谱法测定小尺寸钝感枪药表面高分子钝感剂浓度分布趋势,证实了该技术在含能材料近表面分析和研究中的实用价值。
关键词 红外光声光谱 相位解析 深度剖面分析 钝感剂 浓度分布
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基于相位光栅的立体视觉测量系统及其相位解析表示 被引量：2
5
作者 陈新禹 张太宁 +2 位作者 傅莉 朱琳琳 孙非 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1707-1711,共5页
针对自由曲面,采用双目立体视觉与相移光栅结合的方式实现一种三维面型视觉测量系统。首先,对测量系统的数学模型和标定方法进行了介绍;然后,对涉及的相位解析理论进行了详细的分析;最后,针对当前相位解析过程中存在的问题提出了相应的... 针对自由曲面,采用双目立体视觉与相移光栅结合的方式实现一种三维面型视觉测量系统。首先,对测量系统的数学模型和标定方法进行了介绍;然后,对涉及的相位解析理论进行了详细的分析;最后,针对当前相位解析过程中存在的问题提出了相应的解决方法,并与当前主流的相位解析算法进行比较,证明本文提出的算法在测量速度和精度方面具有一定的优势。实验结果表明,本文系统的测精度约为0.04mm。 展开更多
关键词 测量系统 相位光栅 相位解析
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光刻对准中干涉条纹相位解析研究 被引量：1
6
作者 徐锋 胡松 +1 位作者 周绍林 徐文祥 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期116-121,共6页
针对光刻对准中双光栅产生的具有多频率的干涉条纹,提出了一种基于二维解析小波变换进行条纹分析的方法。该方法首先通过二维小波变换的多尺度对条纹的多频率进行分析,并通过解析小波基函数将条纹的幅度与相位进行分离,最终通过二维小... 针对光刻对准中双光栅产生的具有多频率的干涉条纹,提出了一种基于二维解析小波变换进行条纹分析的方法。该方法首先通过二维小波变换的多尺度对条纹的多频率进行分析,并通过解析小波基函数将条纹的幅度与相位进行分离,最终通过二维小波脊方法提取出与偏移量相关的相位。在相位提取的同时通过二维小波脊所处点的角度分布来移除封闭条纹处理中常见的相位符号不确定性。数值模拟与实验验证了该方法的可行性并与传统的基于频域的相位分析方法进行了对比分析。结果表明,该方法能在获得所需相位信息的同时较好地滤除掉由光路抖动引起的噪声,具有很强的适应性。 展开更多
关键词 测量 相位解析 二维解析小波变换 二维小波脊 封闭条纹
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接近式光刻中基于条纹相位解析的掩模硅片面内倾斜校正研究
7
作者 佟军民 徐锋 胡松 《制造技术与机床》 北大核心 2016年第9期98-102,共5页
针对接近式光刻中掩模硅片面内倾斜提出一种条纹相位解析方法。该方法通过2D傅里叶变换结合2D汉宁窗对于掩模硅片在面内发生的倾斜而形成的倾斜条纹进行处理,获得掩模硅片在面内的倾斜角度,进而进行倾斜校正。数值模拟与实验验证了该方... 针对接近式光刻中掩模硅片面内倾斜提出一种条纹相位解析方法。该方法通过2D傅里叶变换结合2D汉宁窗对于掩模硅片在面内发生的倾斜而形成的倾斜条纹进行处理,获得掩模硅片在面内的倾斜角度,进而进行倾斜校正。数值模拟与实验验证了该方法的可行性与有效性。结果表明,该方法能准确获得掩模硅片在面内的倾斜角度并进行校正。 展开更多
关键词 纳米光刻 对准 面内倾斜 条纹图形分析 相位解析
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相位解析有旋数值模拟在近海近岸非静压海浪荷载计算和风险分布评估上的应用
8
作者 张尧 陈新平 +6 位作者 石先武 王宇星 国志兴 林雨霏 石晓勇 谭骏 刘钦政 《海洋开发与管理》 2016年第S2期79-87,104,共10页
区域尺度精细化水动力数值模拟是解决大量工程、地质、环境等问题的重要手段。水动力荷载的直接冲击是近海近岸结构物、设施破坏的主要动力因素。本文章旨在介绍Boussinesq-GreenNaghdi有旋非静压水动力模型及其在区域尺度灾害性海浪的... 区域尺度精细化水动力数值模拟是解决大量工程、地质、环境等问题的重要手段。水动力荷载的直接冲击是近海近岸结构物、设施破坏的主要动力因素。本文章旨在介绍Boussinesq-GreenNaghdi有旋非静压水动力模型及其在区域尺度灾害性海浪的非静压水动力荷载分析和风险分布评价上的应用。这套模型利用了Boussinesq量纲和Green-Naghdi加权积分的结构。速度和压力被用多项式假设来表达和非线性重排法的应用,有效地提高了模型性能,避免了无旋假设的使用,更好地模拟计算了右旋流速和非静态压力场等复杂水动力参数。模拟重现美国和菲律宾沿海台风浪过程,深入分析非静压海浪荷载作用机理,计算海浪荷载的时空分布,与巨石迁移和结构物损坏的调查数据进行对比验证,构建海浪荷载与区域结构物破坏程度分布的相关性,量化各项影响要素如流速、浪高、结构物特征等的风险权重,通过回归分析法推导基于多影响要素的区域海浪风险参数化定量评价方法。为非静压相位解析有旋水动力理论和海浪灾害机理的科学探索提供原创性基础。为沿海人类活动、区域规划、工程设计、防灾减灾等提供科学指导。 展开更多
关键词 相位解析 近海近岸 海浪荷载 风险分布
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空间相位解析的三相并网逆变器不平衡控制策略 被引量：4
9
作者 徐友 郑建勇 +1 位作者 梅军 张卿杰 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第4期133-139,共7页
鉴于公共电网常处于三相电压不对称运行状态,本文提出一种基于电网电压矢量空间相位解析的并网逆变器不平衡控制新策略。该控制策略通过捕捉电网电压正、负序重合角解析电压和电流正、负序分量的空间相位关系,直接以不平衡的电网电压矢... 鉴于公共电网常处于三相电压不对称运行状态,本文提出一种基于电网电压矢量空间相位解析的并网逆变器不平衡控制新策略。该控制策略通过捕捉电网电压正、负序重合角解析电压和电流正、负序分量的空间相位关系,直接以不平衡的电网电压矢量进行定向并根据常规比例积分(PI)控制器设计了一种新颖比例离散积分控制器,实现对2倍工频的并网电流有功分量和无功分量的零稳态误差控制,且无需计算并网电流正、负序分量,降低了系统计算负荷。实验结果表明,该控制策略可显著抑制电网电压不平衡工况下脉宽调制(PWM)逆变器直流侧电压2次谐波和并网电流畸变。 展开更多
关键词 空间相位解析 重合角 周期延拓 离散积分控制器 零稳态误差 冲击响应不变法
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一种抑制提离噪声的相位解析电磁无损检测方法
10
作者 张荣华 宋观惠 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2022年第3期62-68,共7页
为解决在涡流检测中提离高度变化会造成对检测结果误判的问题,推导并修正了一个与提离高度无关的相位解析模型。由于拟合相位的参数能辨识导电材料电导率、厚度、缺陷等变化,因此建立了能反映样板品质的参数集合。结果表明:在0~6 mm提... 为解决在涡流检测中提离高度变化会造成对检测结果误判的问题,推导并修正了一个与提离高度无关的相位解析模型。由于拟合相位的参数能辨识导电材料电导率、厚度、缺陷等变化,因此建立了能反映样板品质的参数集合。结果表明:在0~6 mm提离噪声下,该模型能快速响应不同提离高度下材料电导率和厚度的变化,测量结果与实际结果的误差均小于1%;在0~2 mm提离噪声下,结合集肤效应理论,选择适当的频率区间,能有效辨识表面缺陷与亚表面缺陷。 展开更多
关键词 涡流检测 提离高度 相位解析模型 电磁无损检测
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