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先进相移掩模(PSM)工艺技术 被引量：4
1
作者 彭力 陈友篷 +1 位作者 尤春 周家万 《电子与封装》 2010年第9期41-45,共5页
先进相移掩模(PSM)制造是极大规模集成电路生产中的关键工艺之一,当设计尺寸(CD)为0.18μm时,就必须在掩模关键层采用OPC(光学邻近校正)和PSM(相移技术),一般二元掩模由于图形边缘散射会降低整体的对比度,无法得到所需要的图形。通过相... 先进相移掩模(PSM)制造是极大规模集成电路生产中的关键工艺之一,当设计尺寸(CD)为0.18μm时,就必须在掩模关键层采用OPC(光学邻近校正)和PSM(相移技术),一般二元掩模由于图形边缘散射会降低整体的对比度,无法得到所需要的图形。通过相位移掩模(PSM)技术可以显著改善图形的对比度,提高图形分辨率。相移掩模是在一般二元掩模中增加了一层相移材料,通过数据处理、电子束曝光、制作二次曝光对准用的可识别标记、二次曝光、显影、刻蚀,并对相移、缺陷等进行分析和检测,确保能达到设计要求。 展开更多
关键词 相移掩模 电子束曝光 相位角分析 缺陷检测
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PG-SGA联合生物电阻抗相位角分析技术的个性化营养干预在胃癌化疗中的应用 被引量：11
2
作者 汤权琪 周美玲 徐皖湘 《安徽医学》 2022年第7期804-808,共5页
目的探讨基于患者主观整体营养状况评估量表(PG-SGA)联合生物电阻抗相位角分析技术的个性化营养干预在胃癌化疗中的应用价值。方法选取2021年3~12月庐江县人民医院肿瘤科收治的70例胃癌化疗患者作为研究对象,按照患者入院先后顺序分为两... 目的探讨基于患者主观整体营养状况评估量表(PG-SGA)联合生物电阻抗相位角分析技术的个性化营养干预在胃癌化疗中的应用价值。方法选取2021年3~12月庐江县人民医院肿瘤科收治的70例胃癌化疗患者作为研究对象,按照患者入院先后顺序分为两组,对照组基于营养风险筛查(NRS 2002)开展营养干预,观察组基于PG-SGA和生物电阻抗相位角分析技术开展个性化营养干预。观察两组患者入组时(T_(1))、干预第3天(T_(2))、干预第7天(T_(3))、干预第14天(T_(4))时营养状态和T_(1)1~T_(4)期间化疗不良反应发生情况。结果重复测量方差分析结果显示,T_(1)1~T_(4)期间,两组胃癌化疗患者清蛋白(ALB)、前清蛋白(PAB)、身体总水分(TBW)、肌肉量(LM)、去脂体质量(FFM)及体质量(Wt)组间差异有统计学意义(P<0.05),存在时间效应和交互效应;T_(1)1~T_(4)期间,观察组白细胞<4.0×10^(9)/L、血红蛋白<110 g/L、谷草转氨酶>40 U/L、谷丙转氨酶>40 U/L以及≥2级恶心呕吐等不良反应发生率低于对照组(P<0.05)。结论PG-SGA联合生物电阻抗相位角分析技术的个性化营养干预更有利于改善胃癌化疗患者营养状态,减少化疗相关不良反应发生。 展开更多
关键词 胃癌化疗 营养干预 主观整体营养状况评估量表 生物电阻抗相位角分析技术
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