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MIM结构薄膜应变栅的工艺研究 被引量：1
1
作者 于映 陈跃 《电子工艺技术》 2000年第5期222-224,共3页
阐述了采用直接沉积法制作MIM结构薄膜应变栅的工艺方法 ,对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法 ,对所制作的薄膜应变栅式称重传感器进行了性能测试。
关键词 MIM结构 薄膜应变栅 直接沉积法 传感器
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用直接金属沉积法制造功能梯度件
2
作者 陈石卿 《上海钢研》 2002年第2期48-49,共2页
美国新墨西哥州的Optomec公司用直接金属沉积法(DMD)制成了功能梯度钛结构。DMD的原理基于激光近终形成形(LENS)。
关键词 直接金属沉积法 制造 功能梯度件 钛结构
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