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题名蓝宝石飞秒激光直冲孔加工研究
被引量：1
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作者
沈小伟
赵万芹
刘昊栋
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机构
上海工程技术大学材料工程学院
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
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出处
《轻工机械》
CAS
2022年第3期85-88,100,共5页
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基金
国家自然科学基金(21703137)。
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文摘
为了在电子衬底蓝宝石表面加工多种尺寸的微孔结构,课题组采用飞秒激光直冲方式进行蓝宝石表面微孔加工,通过实验探索了激光脉冲数、单脉冲能量和重复频率对孔直径和孔表面形貌的影响规律。研究结果表明:在不同单脉冲能量下,孔径均在脉冲数为50 000左右达到饱和;孔径均随着单脉冲能量和重复频率的增加而增加;飞秒激光加工蓝宝石孔口周围均无喷溅物,主要的缺陷为孔口裂纹,且裂纹数量和尺寸普遍表现为随激光加工参数的增大而增大。
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关键词
飞秒激光
蓝宝石
直冲加工
单脉冲能量
重复频率
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Keywords
femtosecond laser
sapphire
percussion drilling
single pulse energy
repetition frequency
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TH742
[机械工程—光学工程]
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题名重复频率对飞秒激光直冲式加工氮化铝陶瓷盲孔的影响
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作者
王旭
马盼
王宁
刘浩东
赵万芹
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机构
上海工程技术大学材料科学与工程学院
沈阳飞机工业(集团)有限公司
西安交通大学机械制造系统国家重点实验室
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出处
《轻工机械》
CAS
2023年第4期21-27,共7页
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基金
国家自然科学基金(52105465)。
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文摘
为探究飞秒激光加工参数中激光重复频率对盲孔尺寸和形貌的影响规律,课题组使用飞秒激光直冲方式对氮化铝陶瓷表面进行盲孔加工,通过实验探索激光重复频率对盲孔入口直径、孔深、孔口形貌以及孔侧壁形貌的影响规律。研究结果表明:随着激光重复频率的增大,盲孔的入口直径和孔深均呈现出增大至饱和的趋势且在重复频率为0.3 MHz左右达到饱和;盲孔的孔口形貌和侧壁形貌均随着重复频率的增大而变差,孔口周围的熔溅物堆积现象愈发严重,侧壁重铸层附着愈发严重。重复频率过高或者过低都会使得直冲式加工的盲孔达不到理想的尺寸和形貌。
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关键词
飞秒激光
氮化铝陶瓷
盲孔
直冲式加工
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Keywords
femtosecond laser
aluminum nitride ceramics
blind hole
direct punching processing
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TH161
[机械工程—机械制造及自动化]
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