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题名基于激光自混合测振的FSI测距误差补偿方法
被引量：5
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作者
柴晓博
吴腾飞
殷璞芙
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机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2021年第11期198-204,共7页
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基金
国家自然科学基金(61733012)。
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文摘
在激光扫频干涉测距过程中,目标振动在测距干涉信号中引入了多普勒频移,造成信号频谱展宽,导致了测距误差放大效应。为了降低振动对测距结果的影响,提出了基于激光自混合测振的测距误差补偿方法,通过同步测量自混合干涉信号的相位变化,补偿目标振动对测距干涉信号的相位调制,并采用频率重采样法校正激光器的调频非线性。最终通过仿真和实验验证了所提方法的可行性。在实验中,当测量的目标振幅为7102.1 nm时,测振标准差为7.9 nm,补偿前的测距标准差为3270.6μm,补偿后的测距标准差降低到21.4μm。补偿后的测距标准差接近无振动情况下的测距标准差,表明目标振动引发的测距误差放大问题得到了有效解决。
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关键词
测量
激光扫频干涉测距
激光自混合干涉
目标振动补偿
频率重采样
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Keywords
measurement
laser frequency scanning interferometry ranging
laser self-mixing interferometry
target vibration compensation
frequency resampling
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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