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盘型分子泵3D过渡流特性 被引量：3
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作者 巴德纯 刘波 +2 位作者 王晓冬 杨乃恒 于治明 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期11-15,共5页
采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究 ,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响。指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途径。最后 ,进行了实验研究和模拟研究结果的对比 。
关键词 盘型分子泵 过渡流特性 抽气特性 直接模拟蒙特卡罗法 DSMC 麦氏分布
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