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基于白光扫描轮廓仪的算法研究 被引量：1
1
作者 周攀 于瀛洁 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z2期533-535,共3页
依据白光扫描轮廓仪是根据白光的干涉特性求解被测物的表面相对高度。主要研究了基于白光扫描轮廓仪的几个常用算法。包括条纹调制度法,移相法,空间频域法等。讨论了各种算法的优缺点。为研究白光扫描轮廓仪和新算法的提出提供了基础。
关键词 白光扫描轮廓仪 条纹调制度法 移相法 空间频域法
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一维计量型微位移工作台的研究
2
作者 孙艳玲 谢铁邦 《传感器世界》 2006年第3期17-20,共4页
本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精密定位,该工作台实现了轮廓仪的闭环测量和控制,文章重点讲述了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,以及... 本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精密定位,该工作台实现了轮廓仪的闭环测量和控制,文章重点讲述了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,以及压电陶瓷驱动电路的原理和工作台闭环定位控制的流程。 展开更多
关键词 微位移工作台 白光扫描干涉轮廓仪 衍射光栅 压电陶瓷 定位控制
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