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基于自适应极值的白光干涉信号解调算法研究
1
作者
祖洪飞
陈宁
+3 位作者
郭钢祥
朱靖
张翔
陈章位
《轻工机械》
CAS
2024年第2期8-14,22,共8页
针对传统时域解调算法等光程点定位稳定性差、抗干扰能力弱,而频域解调算法效率低且部分方法受扫描采样步长限制等问题,课题组提出一种基于自适应极值的白光干涉解调算法。从干涉信号统计学规律出发,通过对干涉信号包络曲线加权平均,将...
针对传统时域解调算法等光程点定位稳定性差、抗干扰能力弱,而频域解调算法效率低且部分方法受扫描采样步长限制等问题,课题组提出一种基于自适应极值的白光干涉解调算法。从干涉信号统计学规律出发,通过对干涉信号包络曲线加权平均,将它修正为高斯型包络曲线;然后,通过对包络曲线高斯拟合插值得到等光程点,进而得到测量方向的深度信息以及三维形貌;最后,以高度为20μm标准台阶样块为测量对象进行多次实验。结果表明:与传统算法相比,课题组所提出算法的测量重复性和精度均有显著提升。该算法为白光干涉中信号解调提供了一种重复性更好、误差更小的方法。
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关键词
白光
干涉
测量
系统
解调算法
自适应极值
高斯包络
干涉
信号解调
下载PDF
职称材料
针对曲面光学元件的五轴表面形貌测量系统结构参数标定
2
作者
杨俊
沈毅君
+3 位作者
刘嘉宇
温荣贤
任明俊
苏榕
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2024年第17期204-212,共9页
针对曲面光学元件的表面形貌测量,将自研扫描白光干涉测头集成到Moore五轴运动平台上构建了一套五轴白光干涉测量系统。为了实现自动化测量,研究了该系统的运动学模型并解得逆运动学方程组。对于逆运动学方程组中的未知参数,提出一种使...
针对曲面光学元件的表面形貌测量,将自研扫描白光干涉测头集成到Moore五轴运动平台上构建了一套五轴白光干涉测量系统。为了实现自动化测量,研究了该系统的运动学模型并解得逆运动学方程组。对于逆运动学方程组中的未知参数,提出一种使用已知表达式的高精度非球面标定件的标定方法。最后进行了标定精度验证实验,结果表明,自动调焦调平后实际对焦点坐标与理论对焦点坐标误差不超过±3μm,满足测头的测量需求,能够对曲面光学元件表面形貌进行自动化测量。
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关键词
扫描
白光
干涉
技术
表面形貌
测量
五轴
白光
干涉
测量
系统
运动学模型
参数标定
原文传递
题名
基于自适应极值的白光干涉信号解调算法研究
1
作者
祖洪飞
陈宁
郭钢祥
朱靖
张翔
陈章位
机构
中国矿业大学机电工程学院
浙江理工大学机械工程学院
浙江省计量科学研究院
浙江谱麦科技有限公司
出处
《轻工机械》
CAS
2024年第2期8-14,22,共8页
基金
国家重点研发计划课题(2020YFC1522703)
宁波市重点研发计划暨“揭榜挂帅”项目(2023Z135)
+2 种基金
宁波市重点研发计划暨“揭榜挂帅”项目(2023Z131)
浙江省市场监督管理局重大科研项目资助项目(20210107)
浙江省科技厅重大专项资助项目(2020C01028)。
文摘
针对传统时域解调算法等光程点定位稳定性差、抗干扰能力弱,而频域解调算法效率低且部分方法受扫描采样步长限制等问题,课题组提出一种基于自适应极值的白光干涉解调算法。从干涉信号统计学规律出发,通过对干涉信号包络曲线加权平均,将它修正为高斯型包络曲线;然后,通过对包络曲线高斯拟合插值得到等光程点,进而得到测量方向的深度信息以及三维形貌;最后,以高度为20μm标准台阶样块为测量对象进行多次实验。结果表明:与传统算法相比,课题组所提出算法的测量重复性和精度均有显著提升。该算法为白光干涉中信号解调提供了一种重复性更好、误差更小的方法。
关键词
白光
干涉
测量
系统
解调算法
自适应极值
高斯包络
干涉
信号解调
Keywords
white light interferometric measurement system
demodulat ion algorithm
adaptive extremum
Gaussian envelope
interferometric signal demodulation
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
针对曲面光学元件的五轴表面形貌测量系统结构参数标定
2
作者
杨俊
沈毅君
刘嘉宇
温荣贤
任明俊
苏榕
机构
上海交通大学机械与动力工程学院
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2024年第17期204-212,共9页
基金
国家重点研发计划变革性专项课题(2019YFA0706701)
国家自然科学基金项目(52175477)
+2 种基金
国家自然科学基金青年科学基金项目(52305546)
国家自然基金合作研究项目(U22A20176)
上海市高新技术领域项目(22511102103)。
文摘
针对曲面光学元件的表面形貌测量,将自研扫描白光干涉测头集成到Moore五轴运动平台上构建了一套五轴白光干涉测量系统。为了实现自动化测量,研究了该系统的运动学模型并解得逆运动学方程组。对于逆运动学方程组中的未知参数,提出一种使用已知表达式的高精度非球面标定件的标定方法。最后进行了标定精度验证实验,结果表明,自动调焦调平后实际对焦点坐标与理论对焦点坐标误差不超过±3μm,满足测头的测量需求,能够对曲面光学元件表面形貌进行自动化测量。
关键词
扫描
白光
干涉
技术
表面形貌
测量
五轴
白光
干涉
测量
系统
运动学模型
参数标定
Keywords
coherence scanning interferometry
surface topography measurement
fiveaxis whitelight interferometric system
kinematic model
parameter calibration
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于自适应极值的白光干涉信号解调算法研究
祖洪飞
陈宁
郭钢祥
朱靖
张翔
陈章位
《轻工机械》
CAS
2024
0
下载PDF
职称材料
2
针对曲面光学元件的五轴表面形貌测量系统结构参数标定
杨俊
沈毅君
刘嘉宇
温荣贤
任明俊
苏榕
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2024
0
原文传递
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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