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基于Fourier频谱分析的白光干涉信号解算方法 被引量：6
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作者 杜海龙 段照斌 孙晓东 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2021年第9期211-216,共6页
采样噪声对白光干涉信号Fourier频谱的各个频率均有影响.选用合适的滤波方法进行滤波将有助于提高白光干涉信号信噪比并获得更加准确的解算结果。构建了特定能量比例条件下的能量最集中约束条件,并建立了选取带通滤波器的代价方程。实... 采样噪声对白光干涉信号Fourier频谱的各个频率均有影响.选用合适的滤波方法进行滤波将有助于提高白光干涉信号信噪比并获得更加准确的解算结果。构建了特定能量比例条件下的能量最集中约束条件,并建立了选取带通滤波器的代价方程。实验给出了白光LED照明条件下代价方程的部分计算过程和结果,代价方程取得最小值时表面粗糙度测量标准差仅为0.02nm。最后在所选参数条件下对银膜反射镜和台阶结构进行了测量,结果表明所提方法具有较好的测量重复性和分辨率。 展开更多
关键词 傅里叶光学 白光干涉信号 FOURIER变换 包络线 代价函数
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