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基于四极质谱仪O形氟橡胶圈的放气研究 被引量：2
1
作者 代彦伟 肖梅 +3 位作者 张晓兵 吴晓斌 王魁波 罗艳 《真空与低温》 2016年第3期170-172,共3页
在真空系统中,接口之间的密封主要有金属与橡胶密封。橡胶属于弹性元件,是一种适应性很强的密封件,其广泛应用于真空系统中。实验研究了O形氟橡胶圈放气特性对痕量气体分析的影响,在利用超高真空封闭式离子源的四极质谱系统,对O形氟橡... 在真空系统中,接口之间的密封主要有金属与橡胶密封。橡胶属于弹性元件,是一种适应性很强的密封件,其广泛应用于真空系统中。实验研究了O形氟橡胶圈放气特性对痕量气体分析的影响,在利用超高真空封闭式离子源的四极质谱系统,对O形氟橡胶圈释放气体进行分析。实验发现O形氟橡胶圈释放大量的氧气等杂质气体,在痕量杂质分析系统上,不适合使用O形橡胶圈作为密封器件。 展开更多
关键词 O形橡胶圈 痕量杂质气体 封闭式离子源 四极质谱仪
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