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题名基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测
被引量：17
- 1
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作者
罗茂
步扬
徐静浩
王向朝
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机构
浙江大学光电科学与工程学院
中国科学院上海光学精密机械研究所
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第1期198-207,共10页
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基金
国家自然科学基金(61205102
61275207
+1 种基金
61405210
61474129)
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文摘
为实现对光学元件表面疵病的精确测量和计数,提出了一种基于多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法,该方法采用不同波长的入射光源均匀照明光学元件表面,通过暗场显微成像系统获得不同波长下的表面疵病图像。基于该方法研制了多光谱光学元件表面疵病检测系统,获得了365,405,436,486,550nm单波长光以及白光照明条件下光学样品表面疵病和标准样品图形的检测实验结果。实验结果表明,相比传统的白光照明检测技术,多光谱检测技术根据不同的材料性质选用不同波长的光作为入射光源,可以明显提高系统对光学元件表面疵病的检测能力,不仅可以提高测量精度,而且可以获取白光照明下无法检测到的疵病信息。
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关键词
疵病检测
散射成像
多光谱
疵病数量
检测精度
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Keywords
measurement
defect measurement
scattering imaging
multispeetral technique
defect number
measurement aceuraey
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
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题名基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测
被引量：12
- 2
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作者
杨言若
步扬
徐静浩
王少卿
王向朝
李杰
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
中国科学院大学材料与光电研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第9期153-161,共9页
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基金
国家自然科学基金(61405210)
国家科技重大专项(2009ZX02205-001,2016ZX02201-001)
广西高校光电信息处理重点实验室开放基金(KFJJ2016-03)
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文摘
为实现精密光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计和多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计提取白光图像中不同波长的单光谱疵病图像,并合成多光谱疵病图像,然后采用优化后的OTSU(Otsu Image Segmentation Algorithm)分别对单光谱与多光谱疵病图像进行分析。基于该方法搭建了光学元件表面疵病检测装置,获得了白光照明条件下光学元件表面疵病的图像。实验结果表明,与原始白光图像相比,合成多光谱图像的疵病检出数量提升了1.85倍,疵病检出面积最大增加了6.0倍,检测效率得到明显提高。根据光学元件表面疵病的特性选取不同波长组合来生成单光谱与多光谱图像,可更加高效精确地检测出传统检测技术不易检出的疵病信息。
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关键词
测量
疵病检测
光谱估计
多光谱技术
疵病数量
疵病面积
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Keywords
measurement
defect measurement
spectral estimation
multispectral technique
defect number
defect area
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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