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题名乙炔浓度对疏松热解碳的影响
被引量：1
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作者
唐明国
吴世洪
刘海
刘桂良
杨静
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机构
中国核动力研究设计院反应堆燃料及材料国家重点实验室
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出处
《炭素》
2015年第2期21-24,共4页
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文摘
以乙炔为碳源气体,采用化学气相沉积的方法,用不同的乙炔浓度制备出疏松热解碳,利用图像法测定了疏松热解碳的密度,用扫描电镜观察了疏松热解碳的微观结构.结果表明：疏松热解碳沉积速率随乙炔浓度增加呈下凹抛物线趋势上升;疏松热解碳密度随乙炔浓度增加呈下凹抛物线趋势下降.
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关键词
乙炔浓度
疏松热解碳
化学气相沉积
沉积速率
密度
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Keywords
acetylene percentage
porous pyrolytic carbon
chemical vapour deposition
deposition rate
density
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分类号
TN304.18
[电子电信—物理电子学]
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题名沉积温度对疏松热解碳密度的影响
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作者
唐明国
吴世洪
李英杰
杨静
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机构
中国核动力研究设计院反应堆燃料及材料重点实验室
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出处
《核动力工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期86-89,共4页
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文摘
以乙炔为碳源气体,采用化学气相沉积的方法,在1100--1550℃范围内制备出疏松热解碳。利用图像法测定疏松热解碳的密度,用场发射扫描电镜检测了疏松热解碳的微观结构。结果表明：疏松热解碳密度在1100--1250℃范围内随沉积温度升高而升高,在1250-1350℃范围内密度随沉积温度升高而下降,到1350℃后密度趋于稳定;沉积温度为（1450±50）℃时,能制备出满足工艺要求的疏松热解碳。
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关键词
沉积温度
疏松热解碳
化学气相沉积
密度
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Keywords
Coating temperature, Porous pyrolytic carbon, Chemical vapour deposition, Density
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分类号
TN304.18
[电子电信—物理电子学]
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