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氮化铝陶瓷表面钛金属化的研究 被引量：9
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作者 黄奇良 潘伟 胡忠 《材料导报》 EI CAS CSCD 2002年第2期66-68,共3页
利用熔盐热歧化反应在氮化铝陶瓷表面上成功地进行了钛金属化,成功地在氮化铝陶瓷表面上制备了钛金属化膜。还研究了温度、反应物浓度、反应时间对钛金属化膜厚度的影响。研究了金属膜的组成及界面反应机理和界面层的显微结构。研究发现... 利用熔盐热歧化反应在氮化铝陶瓷表面上成功地进行了钛金属化,成功地在氮化铝陶瓷表面上制备了钛金属化膜。还研究了温度、反应物浓度、反应时间对钛金属化膜厚度的影响。研究了金属膜的组成及界面反应机理和界面层的显微结构。研究发现,在热歧化反应沉积钛金属膜的过程中,沉积到AlN陶瓷表面的钛金属与AlN发生反应生成TiN_(0.3)、TiN和Ti_9Al_(23)。 展开更多
关键词 熔盐热歧化反应 钛金属化膜 表面钛金属化 界面观观结构 歧化反应 氮化铝陶瓷
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