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常用真空计的测量范围及其性能 被引量：5
1
作者 王逊 《真空》 CAS 北大核心 2004年第4期47-48,共2页
介绍几种测量范围为 10 - 8～ 10 5Pa的常用真空计 ,其应用十分广泛 ,性能较好 。
关键词 真空计 测量范围 性能 热阴极电离真空计 电容薄膜真空计 热电偶真空计 电阻真空计
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基于锁定放大技术的真空度检测系统
2
作者 谭金博 于占东 《现代电子技术》 北大核心 2024年第20期33-38,共6页
针对中低真空环境真空度测量精度低的问题,在定温电桥再平衡法的基础上,提出一种交流定温锁定放大真空度检测方法。定温电桥的失调电压信号经过前置放大、带通滤波后进入相敏检测环节,利用锁定放大技术对采集到的失调电压信号进行处理... 针对中低真空环境真空度测量精度低的问题,在定温电桥再平衡法的基础上,提出一种交流定温锁定放大真空度检测方法。定温电桥的失调电压信号经过前置放大、带通滤波后进入相敏检测环节,利用锁定放大技术对采集到的失调电压信号进行处理。该方法能够提高检测系统的信噪比,使失调电压的测量精度获得提升。电桥的定温控制在XC866单片机中实现,采用继电反馈临界比例度法完成控制参数的自整定。最后,搭建了交流定温锁定放大真空度测试实验平台,并对真空检测的数据进行处理和标定。实验结果表明,交流定温锁定放大真空检测系统在10-1~103Pa范围内,真空度测量误差不超过15%,验证了所设计方案的有效性和可行性。 展开更多
关键词 电阻真空计 真空度检测 锁定放大技术 交流定温电桥 XC866单片机 参数自整定
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用EPROM存贮器实现线性化的数字式电阻真空计 被引量：1
3
作者 苏玉萍 姜红 +1 位作者 王厚礼 乔殿利 《真空》 CAS 北大核心 1992年第2期59-60,23,共3页
本文介绍用ＥＰＲＯＭ存贮器实现线性化处理的数字式电阻真空计，这种线性化方法抗干扰能力强，线路简单，通用性强，可用于其它非线性传感器的线性化，是一种值得推广的好方法。
关键词 存贮器 线性化 真空计 电阻真空计
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智能型电阻真空计研制
4
作者 黄家贤 《真空电子技术》 北大核心 1995年第4期36-40,32,共6页
本文采用ＭＣＳ－５１单片机系统实现真空测量仪的智能化。该仪具有数字显示、量程自动切换、放大倍数自动调整、非线性测量、误差补偿、给定压强控制、多通道测量、联机通讯和自动打印等功能。本文着重介绍电阻真空计的硬件设计和数据... 本文采用ＭＣＳ－５１单片机系统实现真空测量仪的智能化。该仪具有数字显示、量程自动切换、放大倍数自动调整、非线性测量、误差补偿、给定压强控制、多通道测量、联机通讯和自动打印等功能。本文着重介绍电阻真空计的硬件设计和数据处理方法。 展开更多
关键词 智能化 真空计 量程 电阻真空计
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气相沉积中电阻真空计的使用问题
5
作者 石玉龙 彭红瑞 李世直 《真空》 CAS 北大核心 1998年第4期42-45,共4页
本文叙述了气相沉积中使用电阻真空计遇到的一些问题及解决的方法。
关键词 气相沉积 真空计 电阻真空计 CVD PVD 真空镀膜
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进口电阻真空计的校准和测量精度的提高
6
作者 程惠民 《真空与低温》 1992年第4期206-209,202,共5页
对于使用进口龟阻真空计时如何保证测量吸气剂放气量的精度这一问题进行了探索。首先通过对膨胀法标准装置的改进、提高极限真空、提高静态保持的真空度、改进取气方法等项措施,提高了校准精度。使校准误差控制在不大于±10%以内。... 对于使用进口龟阻真空计时如何保证测量吸气剂放气量的精度这一问题进行了探索。首先通过对膨胀法标准装置的改进、提高极限真空、提高静态保持的真空度、改进取气方法等项措施,提高了校准精度。使校准误差控制在不大于±10%以内。同时又讨论了测量时的环境温度、气体种类、真空计的灵敏度、热丝的污染等因素对仪器测量精度的影响和消除方法。 展开更多
关键词 真空计 测量 精度 电阻真空计
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电阻真空计TR201规管的新生
7
作者 王芝芳 程惠民 《光电技术》 1991年第2期125-132,共8页
关键词 电阻真空计 真空计 规管
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818-C型定温电阻真空计(下) 第三部 分用于定温电阻真空计的电子管维恩 桥振荡器 被引量：1
8
作者 黄志洵 《真空电子技术》 1979年第3期40-49,32,共11页
第三部分用于定温电阻真空计的电子管维恩桥振荡器一.基本原理在设计和生产定温电阻真空计的过程中,我们多次试用过晶体管振荡电路,但不能获得应有的稳定性,无法大批生产。例如。
关键词 电子管 电阻真空计 电子设备 振荡器 规管 维恩
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真空容器中气氛组成对电阻真空计检测结果影响的研究
9
作者 蔡康渭 何宁军 《大型铸锻件》 1993年第3期19-22,共4页
真空容器中气氛的组成,由于其物理参数各异,会影响象电阻计这类物理型真空计读数的准确性。在较高和较低真空度下对Ar、CO_2、N_2、O_2等钢液处理中常见气体的研究表明,与空气相比,它们的名义读数均偏离实际压强,其中尤以Ar气和CO_2气... 真空容器中气氛的组成,由于其物理参数各异,会影响象电阻计这类物理型真空计读数的准确性。在较高和较低真空度下对Ar、CO_2、N_2、O_2等钢液处理中常见气体的研究表明,与空气相比,它们的名义读数均偏离实际压强,其中尤以Ar气和CO_2气更为明显,在较低的真空度下,甚至呈现出名义读数与实际压强反向发展的极端现象。当气氛中Ar或CO_2的压强和浓度达到某一值时,ZR-3型真空计的读数不再随实际压强的变化而变动,而稳定于某一固定值。就钢液的真空处理和真空精炼工艺而言,应以力学型真空计取代物理型真空计。 展开更多
关键词 真空精炼设备 电阻真空计 真空测量
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DL-6A型电阻真空计的误差
10
作者 王逊 《真空》 CAS 北大核心 2011年第4期38-39,共2页
本文介绍DL-6A型电阻真空计的误差。DL-6A型电阻真空计测量范围是10^-1～10^5Pa，在10～5×10^3Pa，误差为10％，在小于10Pa和大于5×10^3Pa误差为35％。
关键词 量程 误差 电阻真空计
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