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题名确定微纳米尺度金属薄膜拉伸分叉点的实验研究
被引量：1
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作者
张冠华
王世斌
李林安
王志勇
贾海坤
何巍
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机构
天津大学机械工程学院力学系
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出处
《实验力学》
CSCD
北大核心
2014年第2期133-139,共7页
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基金
973国家重点基础研究项目(2012CB937500)
国家自然科学基金(110721742)资助
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文摘
为了确定微纳米尺度金属薄膜的拉伸分叉点,本文使用磁控溅射镀膜技术,在PI(聚酰亚胺)基底上沉积500nm厚的铜薄膜,制作薄膜/基底结构拉伸试件。在单轴拉伸作用下,通过测量拉伸加载过程中铜薄膜的电阻变化情况,得到薄膜电阻随应变变化的关系,并与理论推导的结果进行对比分析,从而确定了塑性阶段理论曲线与实验曲线分离的点,即铜薄膜的分叉点。以此为基础,研究了铜薄膜在单轴拉伸作用下的分叉行为。研究结果表明,沉积于PI基底上的微纳米尺度铜薄膜在单轴拉伸下,经过弹性变形阶段后,很快就发生分叉,然后产生破坏,而塑性变形阶段和局部化阶段较短;弹性阶段薄膜的电阻变化速率很小,塑性阶段薄膜的电阻变化速率稍有增大,而当薄膜表面开始出现微裂纹后,电阻变化速率急剧增大。
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关键词
微纳米薄膜
分叉
电阻
电阻电测法
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Keywords
micro-nano thin film
bifurcation
resistance
electrical resistance measurement method
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分类号
O344.7
[理学—固体力学]
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