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激光调阻机多档测量误差的软件自适应校正
被引量:
5
1
作者
王志娟
郭晓光
+2 位作者
孙继凤
汤建华
于前洋
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第3期259-264,共6页
为了减小激光调阻机测量系统的多档测量误差对阻值修调精度的影响,提出了一种基于有源单臂电桥测量原理自适应地校正激光调阻机多档测量误差的方法。通过测量和标定高精度标准电阻的测量误差,自适应地获取校正激光调阻机多档测量误差的...
为了减小激光调阻机测量系统的多档测量误差对阻值修调精度的影响,提出了一种基于有源单臂电桥测量原理自适应地校正激光调阻机多档测量误差的方法。通过测量和标定高精度标准电阻的测量误差,自适应地获取校正激光调阻机多档测量误差的系列修正值,进而用系列修正值对所有待修调电阻的阻值测量误差进行校正,达到进一步减小系统测量误差的目的。实践证明,在测量硬件电路保证高稳定性、微小波动性测量的前提下,应用该方法可使测量系统的精度指标达到:低阻区(R<100Ω)为±0.5‰;中阻区为±0.2‰;高阻区(R≥1MΩ)为±2‰。
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关键词
激光调阻机
有源单臂电桥
测量系统
测量误差
电阻
标定
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职称材料
题名
激光调阻机多档测量误差的软件自适应校正
被引量:
5
1
作者
王志娟
郭晓光
孙继凤
汤建华
于前洋
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第3期259-264,共6页
基金
国家高技术产业化光电子专项项目(No.2002055)
长春市科技攻关计划项目(No.02 130G22)
文摘
为了减小激光调阻机测量系统的多档测量误差对阻值修调精度的影响,提出了一种基于有源单臂电桥测量原理自适应地校正激光调阻机多档测量误差的方法。通过测量和标定高精度标准电阻的测量误差,自适应地获取校正激光调阻机多档测量误差的系列修正值,进而用系列修正值对所有待修调电阻的阻值测量误差进行校正,达到进一步减小系统测量误差的目的。实践证明,在测量硬件电路保证高稳定性、微小波动性测量的前提下,应用该方法可使测量系统的精度指标达到:低阻区(R<100Ω)为±0.5‰;中阻区为±0.2‰;高阻区(R≥1MΩ)为±2‰。
关键词
激光调阻机
有源单臂电桥
测量系统
测量误差
电阻
标定
Keywords
laser resistor trimming machine
Wheatstone bridge
measuring system
measuring error
resistor calibration
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光调阻机多档测量误差的软件自适应校正
王志娟
郭晓光
孙继凤
汤建华
于前洋
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004
5
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职称材料
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