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860A溅射负离子源电离器及电源的改进
被引量：
2
1
作者
安坤
王广甫
+1 位作者
于令达
吴冰冰
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期1123-1126,共4页
本文采用直径为2.5mm的不锈钢铠装热丝研制了透射型表面电离器,并对离子源电源进行了改进。用连续可调直流开关电源代替原装交流电源作为电离器电源,用置于地电位的0^-20kV电源代替原悬浮于-20kV引出电压上的10kV浸没透镜电源。给出了...
本文采用直径为2.5mm的不锈钢铠装热丝研制了透射型表面电离器,并对离子源电源进行了改进。用连续可调直流开关电源代替原装交流电源作为电离器电源,用置于地电位的0^-20kV电源代替原悬浮于-20kV引出电压上的10kV浸没透镜电源。给出了改进后GIC4117 2×1.7MV串列加速器前法拉第杯H-流强随电离器加热电流的变化曲线。
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关键词
溅射离子源
电离
器
电源
开关
电源
H^
-流强
下载PDF
职称材料
题名
860A溅射负离子源电离器及电源的改进
被引量：
2
1
作者
安坤
王广甫
于令达
吴冰冰
机构
北京师范大学核科学与技术学院射线束技术与材料改性教育部重点实验室
北京市辐射中心
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期1123-1126,共4页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助
文摘
本文采用直径为2.5mm的不锈钢铠装热丝研制了透射型表面电离器,并对离子源电源进行了改进。用连续可调直流开关电源代替原装交流电源作为电离器电源,用置于地电位的0^-20kV电源代替原悬浮于-20kV引出电压上的10kV浸没透镜电源。给出了改进后GIC4117 2×1.7MV串列加速器前法拉第杯H-流强随电离器加热电流的变化曲线。
关键词
溅射离子源
电离
器
电源
开关
电源
H^
-流强
Keywords
sputtering ion source
ionizer power supply
switching power supply
beamintensity of H-
分类号
TL503.5 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
860A溅射负离子源电离器及电源的改进
安坤
王广甫
于令达
吴冰冰
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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