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斜梁型电热微致动器的输出位移计算及实验
被引量：
2
1
作者
王振禄
沈雪瑾
陈晓阳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3080-3086,共7页
为了计算斜梁型电热微致动器的输出位移,基于电-热分析和热平衡原理建立了电热微致动器的电热耦合稳态传热方程。对热-结构进行了分析,运用力法原理建立了微致动器的位移计算模型。然后,用有限元法和实际测试对比验证了温度分布和输出...
为了计算斜梁型电热微致动器的输出位移,基于电-热分析和热平衡原理建立了电热微致动器的电热耦合稳态传热方程。对热-结构进行了分析,运用力法原理建立了微致动器的位移计算模型。然后,用有限元法和实际测试对比验证了温度分布和输出位移的理论值,得到了一致性很好的结果。最后,分析了微致动器输出位移的保持性和重复性,以及结构参数和工艺对微致动器输出位移的影响。分析表明:斜梁的长宽比和倾角是影响微致动器输出位移的主要参数,工艺对输出位移有影响。实验结果表明:9V和18V电压下,微致动器的最大位移分别为0.85μm和2.3μm,与理论计算结果相对误差为2.2%和12.8%,实测值与理论值误差较小,表明本文推导的斜梁型电热微致动器的输出位移计算公式合理,能够为该类微致动器的设计和计算提供理论依据。
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关键词
电热
微
致动器
电-热-结构模型
输出位移
微
机电系统
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职称材料
基于BP神经网络的U型电热微致动器仿真分析
被引量：
2
2
作者
尹婷婷
高行山
+1 位作者
张娟
邓子辰
《动力学与控制学报》
2008年第3期265-269,共5页
以BP神经网络、随机有限元法为基础,对U型电热微致动器进行了仿真分析.首先利用有限元分析软件ANSYS对U型电热微致动器进行有限元分析得到具体结构尺寸对微致动器最大位移的影响,然后通过建立的BP神经网络来拟合响应与输入之间的关系,...
以BP神经网络、随机有限元法为基础,对U型电热微致动器进行了仿真分析.首先利用有限元分析软件ANSYS对U型电热微致动器进行有限元分析得到具体结构尺寸对微致动器最大位移的影响,然后通过建立的BP神经网络来拟合响应与输入之间的关系,根据蒙特卡罗模拟原理获得足够多的样本值对训练后的网络进行误差分析,结果证明本文提出的分析方法是可行有效的.
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关键词
u型
电热
微
致动器
BP神经网络
随机有限元
蒙特卡罗法
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职称材料
硅流体芯片的仿真建模及几何参数影响分析
3
作者
周铖杰
吴央芳
+2 位作者
夏春林
王玉翰
陆倩倩
《液压与气动》
北大核心
2019年第12期107-113,共7页
为研究硅流体芯片的特性,通过多物理场仿真得到了芯片输入电压与中间层杠杆机构输出位移之间的近似传递函数,结合AMESim软件进行了气路仿真研究。将气路仿真结果与实验结果进行对比,验证了仿真的有效性。利用气路仿真模型分析了静态增...
为研究硅流体芯片的特性,通过多物理场仿真得到了芯片输入电压与中间层杠杆机构输出位移之间的近似传递函数,结合AMESim软件进行了气路仿真研究。将气路仿真结果与实验结果进行对比,验证了仿真的有效性。利用气路仿真模型分析了静态增益和时间常数对双芯片结构阶跃响应及滞回特性的影响。使用多物理场仿真模型着重探讨了几何参数对V型电热微致动器的影响。仿真结果表明:致动器输出位移的大小主要与筋的倾角、跨长、对数有关,几何参数的改变对静态增益影响明显,时间常数主要与跨长有关。
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关键词
硅流体芯片
多物理场仿真
V型
电热
微
致动器
几何参数
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职称材料
基于神经网络的电热式微致动器随机有限元分析
被引量：
1
4
作者
尹婷婷
高行山
张娟
《河南科技大学学报（自然科学版）》
CAS
2008年第6期38-41,共4页
提出了基于神经网络的随机有限元分析方法,首先利用有限元法对U型电热式微致动器进行理论分析,得出具体结构尺寸对微致动器最大位移的影响,然后通过建立的神经网络来拟合响应与输入之间的关系,根据蒙特卡罗模拟原理获得足够多的样本值...
提出了基于神经网络的随机有限元分析方法,首先利用有限元法对U型电热式微致动器进行理论分析,得出具体结构尺寸对微致动器最大位移的影响,然后通过建立的神经网络来拟合响应与输入之间的关系,根据蒙特卡罗模拟原理获得足够多的样本值对训练后的网络进行误差分析,结果证明,本文提出的分析方法是可行有效的。
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关键词
U型
电热
式
微
致动器
随机有限元
BP神经网络
蒙特卡罗法
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职称材料
题名
斜梁型电热微致动器的输出位移计算及实验
被引量：
2
1
作者
王振禄
沈雪瑾
陈晓阳
机构
上海大学机械自动化工程系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3080-3086,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51075249)
上海市重点实验室资助项目(No.3ZK1101)
文摘
为了计算斜梁型电热微致动器的输出位移,基于电-热分析和热平衡原理建立了电热微致动器的电热耦合稳态传热方程。对热-结构进行了分析,运用力法原理建立了微致动器的位移计算模型。然后,用有限元法和实际测试对比验证了温度分布和输出位移的理论值,得到了一致性很好的结果。最后,分析了微致动器输出位移的保持性和重复性,以及结构参数和工艺对微致动器输出位移的影响。分析表明:斜梁的长宽比和倾角是影响微致动器输出位移的主要参数,工艺对输出位移有影响。实验结果表明:9V和18V电压下,微致动器的最大位移分别为0.85μm和2.3μm,与理论计算结果相对误差为2.2%和12.8%,实测值与理论值误差较小,表明本文推导的斜梁型电热微致动器的输出位移计算公式合理,能够为该类微致动器的设计和计算提供理论依据。
关键词
电热
微
致动器
电-热-结构模型
输出位移
微
机电系统
Keywords
electrothermal microactuator
electro-thermo-mechanical model
output displacement
Micro-electro-mechanic System（MEMS）
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
TM924.1 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
基于BP神经网络的U型电热微致动器仿真分析
被引量：
2
2
作者
尹婷婷
高行山
张娟
邓子辰
机构
西北工业大学工程力学系
出处
《动力学与控制学报》
2008年第3期265-269,共5页
基金
辽宁省智能信息处理重点实验室开放课题(2005-5)~~
文摘
以BP神经网络、随机有限元法为基础,对U型电热微致动器进行了仿真分析.首先利用有限元分析软件ANSYS对U型电热微致动器进行有限元分析得到具体结构尺寸对微致动器最大位移的影响,然后通过建立的BP神经网络来拟合响应与输入之间的关系,根据蒙特卡罗模拟原理获得足够多的样本值对训练后的网络进行误差分析,结果证明本文提出的分析方法是可行有效的.
关键词
u型
电热
微
致动器
BP神经网络
随机有限元
蒙特卡罗法
Keywords
U-shaped flexural electro-thermal actuator, BP neural network, SFEM, Monte Carlo method
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
硅流体芯片的仿真建模及几何参数影响分析
3
作者
周铖杰
吴央芳
夏春林
王玉翰
陆倩倩
机构
常州大学机械工程学院
浙江大学城市学院机械电子工程系
出处
《液压与气动》
北大核心
2019年第12期107-113,共7页
文摘
为研究硅流体芯片的特性,通过多物理场仿真得到了芯片输入电压与中间层杠杆机构输出位移之间的近似传递函数,结合AMESim软件进行了气路仿真研究。将气路仿真结果与实验结果进行对比,验证了仿真的有效性。利用气路仿真模型分析了静态增益和时间常数对双芯片结构阶跃响应及滞回特性的影响。使用多物理场仿真模型着重探讨了几何参数对V型电热微致动器的影响。仿真结果表明:致动器输出位移的大小主要与筋的倾角、跨长、对数有关,几何参数的改变对静态增益影响明显,时间常数主要与跨长有关。
关键词
硅流体芯片
多物理场仿真
V型
电热
微
致动器
几何参数
Keywords
silicon valve
multi-physical field simulation
V-shaped electrothermal actuator
geometric parameter
分类号
TH137 [机械工程—机械制造及自动化]
TH138.52
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职称材料
题名
基于神经网络的电热式微致动器随机有限元分析
被引量：
1
4
作者
尹婷婷
高行山
张娟
机构
西北工业大学工程力学系
大连大学辽宁省智能信息处理重点实验室
出处
《河南科技大学学报（自然科学版）》
CAS
2008年第6期38-41,共4页
基金
辽宁省智能信息处理重点实验室开放基金(2005-5)
文摘
提出了基于神经网络的随机有限元分析方法,首先利用有限元法对U型电热式微致动器进行理论分析,得出具体结构尺寸对微致动器最大位移的影响,然后通过建立的神经网络来拟合响应与输入之间的关系,根据蒙特卡罗模拟原理获得足够多的样本值对训练后的网络进行误差分析,结果证明,本文提出的分析方法是可行有效的。
关键词
U型
电热
式
微
致动器
随机有限元
BP神经网络
蒙特卡罗法
Keywords
U-shaped flexural electro-thermal actuator
Stochastic finite element method
BP neural network
Monte Carlo method
分类号
O316 [理学—一般力学与力学基础]
TP389.1 [理学—力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
斜梁型电热微致动器的输出位移计算及实验
王振禄
沈雪瑾
陈晓阳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
下载PDF
职称材料
2
基于BP神经网络的U型电热微致动器仿真分析
尹婷婷
高行山
张娟
邓子辰
《动力学与控制学报》
2008
2
下载PDF
职称材料
3
硅流体芯片的仿真建模及几何参数影响分析
周铖杰
吴央芳
夏春林
王玉翰
陆倩倩
《液压与气动》
北大核心
2019
0
下载PDF
职称材料
4
基于神经网络的电热式微致动器随机有限元分析
尹婷婷
高行山
张娟
《河南科技大学学报（自然科学版）》
CAS
2008
1
下载PDF
职称材料
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