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ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响
被引量：
3
1
作者
周蓓
廖斌
朱守正
《应用科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期359-364,共6页
分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电...
分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电感耦合微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.
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关键词
电感
耦合
微波
等离子体
源
(
icp
)
平面微带螺旋天线
数值仿真
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职称材料
题名
ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响
被引量：
3
1
作者
周蓓
廖斌
朱守正
机构
华东师范大学信息学院电子系
出处
《应用科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期359-364,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(60471015)
文摘
分析了平面电感耦合微波等离子体源(ICP)的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电感耦合微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.
关键词
电感
耦合
微波
等离子体
源
(
icp
)
平面微带螺旋天线
数值仿真
Keywords
inductively-coupled microwave plasma source （
icp
）
planar microstrip spiral antenna
numerical simulation
分类号
TN99 [电子电信—信号与信息处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响
周蓓
廖斌
朱守正
《应用科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
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职称材料
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参考文献
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