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扫描电子显微镜样品制备原理及方法
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作者 蒋蓉蓉 姚懿容 +2 位作者 李明 管建敏 卢焕明 《分析测试技术与仪器》 CAS 2024年第3期153-160,共8页
合理正确的样品制备是高质量扫描电子显微镜(SEM)表征的重要前提.将样品固定在样品座上是一个简短但却重要的步骤,但其重要性却往往被低估.不合理的制样会造成表征中荷电效应、图像漂移、面分布重影、颗粒团聚等各种问题,不仅影响表征效... 合理正确的样品制备是高质量扫描电子显微镜(SEM)表征的重要前提.将样品固定在样品座上是一个简短但却重要的步骤,但其重要性却往往被低估.不合理的制样会造成表征中荷电效应、图像漂移、面分布重影、颗粒团聚等各种问题,不仅影响表征效果,增加测试难度,而且有可能错失重要信息.从导电胶的选择、样品座的选择、样品固定方式、电子迁移通道的搭建以及镀膜等方面,综合总结了样品制备的操作要点,并阐述了其机理和原因,希望帮助SEM使用者通过优化制样过程提高SEM的表征效果. 展开更多
关键词 样品制备 导电胶 样品座 电子迁移通道 镀膜
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