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等离子体刻蚀建模中的电子碰撞截面数据
1
作者 陈锦峰 朱林繁 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1-25,共25页
半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工... 半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工艺因此面临巨大的挑战.基于低温等离子体处理技术的干法刻蚀工艺是高精细电路图案刻蚀的首选方案,借助等离子体仿真模拟,人们已经能够在很大程度上缩小实验探索的范围,在海量的参数中找到最优工艺条件.电子碰撞截面是等离子体刻蚀模型的关键输入参数,深刻影响着模型预测结果的可靠性.本文主要介绍了低温等离子体建模的基本理论,重点强调电子碰撞截面数据在数值模拟中的重要作用.与此同时,本文概述了获取刻蚀气体截面数据的理论与实验方法.最后总结了刻蚀相关原子分子的电子碰撞截面研究现状,并展望了未来的研究前景. 展开更多
关键词 电子碰撞截面 干法刻蚀 低温等离子体 等离子体建模
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Breit相互作用对类氦离子亚稳态1s2s ^3S1电子碰撞激发截面的影响 被引量：10
2
作者 杨宁选 蒋军 +1 位作者 颉录有 董晨钟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期2888-2894,共7页
利用新近发展的基于全相对论扭曲波方法研究电子-离子碰撞激发过程的计算程序,通过对Breit相互作用的考虑,计算了类氦等电子序列离子从亚稳态1s2s 3S1激发2s电子到n=2,3壳层的电子碰撞激发截面;研究了不同入射电子能量时Breit相互作用... 利用新近发展的基于全相对论扭曲波方法研究电子-离子碰撞激发过程的计算程序,通过对Breit相互作用的考虑,计算了类氦等电子序列离子从亚稳态1s2s 3S1激发2s电子到n=2,3壳层的电子碰撞激发截面;研究了不同入射电子能量时Breit相互作用对碰撞激发截面的影响,进一步总结了沿等电子序列变化时,Breit相互作用对截面影响的一般规律.部分计算结果与实验结果进行了比较,得到了很好的一致性. 展开更多
关键词 全相对论扭曲波方法 Breit相互作用 电子碰撞激发截面
原文传递
类铜Au^(50+)离子电子碰撞激发特性的研究 被引量：2
3
作者 杨宁选 董晨钟 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期683-691,共9页
利用全相对论扭曲波(RDW)方法,系统计算了类铜Au^(50+)离子的外壳层电子4s激发到4l、5l(l=s、p、d、f,除去4s→4s)和内壳层电子3l(l=s、p、d)激发到4l、5l(l=s、p、d、f)的碰撞激发截面,研究了在不同入射电子能量下截面的变化规律,给出... 利用全相对论扭曲波(RDW)方法,系统计算了类铜Au^(50+)离子的外壳层电子4s激发到4l、5l(l=s、p、d、f,除去4s→4s)和内壳层电子3l(l=s、p、d)激发到4l、5l(l=s、p、d、f)的碰撞激发截面,研究了在不同入射电子能量下截面的变化规律,给出了3d→4f和3d→5f精细结构能级的碰撞激发截面.部分计算结果与其它理论及最新实验结果进行了比较,取得了很好的一致性. 展开更多
关键词 全相对论扭曲波方法 电子碰撞激发截面 类铜Au50离子
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高离化态类氖离子的电子碰撞激发特性研究 被引量：2
4
作者 杨宁选 蒋军 +1 位作者 颉录有 董晨钟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期918-924,共7页
利用基于多组态Dirac-Fock(MCDF)理论方法的原子结构和性质计算程序GRASP92和全相对论扭曲波电子碰撞激发计算程序REIE06,系统计算了类氖离子(Z=50—57)激发组态2s22p53l和2s2p63l(l=s,p,d)的能级结构和碰撞激发截面,总结了碰撞激发截... 利用基于多组态Dirac-Fock(MCDF)理论方法的原子结构和性质计算程序GRASP92和全相对论扭曲波电子碰撞激发计算程序REIE06,系统计算了类氖离子(Z=50—57)激发组态2s22p53l和2s2p63l(l=s,p,d)的能级结构和碰撞激发截面,总结了碰撞激发截面随入射电子能量的变化规律,讨论了实验中感兴趣的(2p1/23d3/2)1→2s22p61S0(标记为3C线)与(2p3/23d5/2)1→2s22p61S0(标记为3D线)跃迁线强度比值的沿等电子系列特性和强组态相互作用对高离化态类氖离子截面的影响. 展开更多
关键词 类氖离子 全相对论扭曲波方法 电子碰撞激发截面
原文传递
类氖Fe^(16+)离子高激发态电子碰撞激发特性理论研究
5
作者 张春 杨宁选 +2 位作者 范婷 王锐 孙茂珠 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期520-526,共7页
基于全相对论扭曲波(RDW)电子碰撞激发计算程序REIE06,系统计算了类氖Fe16+离子基态1s22s22p6 1S0的2p,2s和1s电子激发到高激发态1s22s22p5 ns,1s22s2p6 ns和1s2s22p6 ns(n=3,4,5,6,7,8,9,10)精细结构能级的碰撞激发截面,详细研究了碰... 基于全相对论扭曲波(RDW)电子碰撞激发计算程序REIE06,系统计算了类氖Fe16+离子基态1s22s22p6 1S0的2p,2s和1s电子激发到高激发态1s22s22p5 ns,1s22s2p6 ns和1s2s22p6 ns(n=3,4,5,6,7,8,9,10)精细结构能级的碰撞激发截面,详细研究了碰撞激发截面随入射电子能量和主量子数n的变化规律,拟合了公式,总结了一些有意义的结论. 展开更多
关键词 电子碰撞激发截面 高激发态离子 类氖Fe16+离子
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Cd^+离子5s^2S_(1/2)→5p^2P_(3/2)电子碰撞激发截面和退激辐射光子极化度的理论研究
6
作者 焦飞 蒋军 +3 位作者 颉录有 张登红 董晨钟 陈展斌 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第23期68-74,共7页
本文采用全相对论扭曲波方法计算了Cd^+离子5s^2S_(1/2)→5p^2P_(3/2)电子碰撞激发总截面、磁能级的激发截面以及退激辐射光子极化度.详细讨论了电子关联效应对激发截面以及退激辐射光子极化度的影响.我们发现,在低能碰撞部分(<10eV)... 本文采用全相对论扭曲波方法计算了Cd^+离子5s^2S_(1/2)→5p^2P_(3/2)电子碰撞激发总截面、磁能级的激发截面以及退激辐射光子极化度.详细讨论了电子关联效应对激发截面以及退激辐射光子极化度的影响.我们发现,在低能碰撞部分(<10eV),Core-价关联对电子碰撞激发截面的贡献非常重要,与不考虑Core-价关联的结果相比,Core-价关联的计算结果使得激发截面降低了1/2到2/3;在高能碰撞部分(>80 eV),Core-价关联的贡献不是非常明显,但与不考虑Core-价关联的结果相比,其激发截面也降低了15%.然而,对于退激辐射光子极化度,Core-价关联的贡献非常小,其影响是可以忽略的. 展开更多
关键词 电子碰撞激发截面 极化度 相对论扭曲波方法 Core-价关联
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类镍Au^(51+)离子电子碰撞激发特性的研究
7
作者 杨宁选 张吉东 +3 位作者 范婷 王锐 曹海宾 张建军 《原子与分子物理学报》 CAS 北大核心 2018年第3期441-448,共8页
利用全相对论扭曲波方法和研究电子碰撞激发过程的计算程序REIE06系统计算了类镍Au^(51+)离子从基态(3s^23p^63d^(10))n=3壳层3 l(l=s、p、d)电子激发到4 l、5 l(l=s、p、d、f)的碰撞激发强度和截面,研究了在不同入射电子能量下截面的... 利用全相对论扭曲波方法和研究电子碰撞激发过程的计算程序REIE06系统计算了类镍Au^(51+)离子从基态(3s^23p^63d^(10))n=3壳层3 l(l=s、p、d)电子激发到4 l、5 l(l=s、p、d、f)的碰撞激发强度和截面,研究了在不同入射电子能量下截面的变化规律,通过对类镍Au51+离子涉及X射线激光跃迁的相关能级电子碰撞激发速率的计算,分析了等离子体中电子温度对碰撞过程的影响.部分计算结果与其它理论及实验结果进行了比较,取得了很好的一致性. 展开更多
关键词 全相对论扭曲波方法 电子碰撞激发截面 类镍Au51+离子
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