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磁控溅射原理的深入探讨
被引量：
27
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作者
赵嘉学
童洪辉
《真空》
CAS
北大核心
2004年第4期74-79,共6页
从更深层次——电子在非均匀电磁场中的运动规律 ,探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因。对工件温升、临界磁场、脱缚电子的能量及原因。
关键词
磁力线走廊
磁阻力
横向磁约束
电子
浓度
分布
磁控溅射
镀膜
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职称材料
初始电子浓度对空气中针板间隙正极性流注放电的影响
被引量：
20
2
作者
彭庆军
司马文霞
+2 位作者
杨庆
袁涛
施健
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期37-43,共7页
为揭示环境中初始电子浓度对气体放电过程的影响,利用等离子体流体力学模型研究了大气压下5mm针-板空气间隙的流注放电过程。采用的等离子体流体力学模型包括了电子、正负离子连续性方程和电场的泊松方程。研究发现:5mm针板空气间隙下...
为揭示环境中初始电子浓度对气体放电过程的影响,利用等离子体流体力学模型研究了大气压下5mm针-板空气间隙的流注放电过程。采用的等离子体流体力学模型包括了电子、正负离子连续性方程和电场的泊松方程。研究发现:5mm针板空气间隙下流注放电的通道半径约为0.1～0.3mm;随着间隙中初始电子浓度的增加,流注头部电场强度逐渐减小,流注发展的平均速率逐渐增大,流注贯穿间隙的时间逐渐减小;初始电子浓度对板电极表面电场强度、流注通道内电场强度和流注通道半径的影响可以忽略。
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关键词
流注放电
流体力学模型
气体放电
电场强度
分布
电子
浓度
分布
流注发展平均速率
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职称材料
题名
磁控溅射原理的深入探讨
被引量：
27
1
作者
赵嘉学
童洪辉
机构
核工业西南物理研究院
出处
《真空》
CAS
北大核心
2004年第4期74-79,共6页
文摘
从更深层次——电子在非均匀电磁场中的运动规律 ,探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因。对工件温升、临界磁场、脱缚电子的能量及原因。
关键词
磁力线走廊
磁阻力
横向磁约束
电子
浓度
分布
磁控溅射
镀膜
Keywords
corridor of magnetic line of force
magnetic field resistance
horizontal magnetic restriction
distribution of electron's density
分类号
TB43 [一般工业技术]
O53 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
初始电子浓度对空气中针板间隙正极性流注放电的影响
被引量：
20
2
作者
彭庆军
司马文霞
杨庆
袁涛
施健
机构
重庆大学输配电装备及系统安全与新技术国家重点实验室
出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期37-43,共7页
基金
国家创新研究群体基金(51021005)
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2009CB724504)
国家自然科学基金(50707036)~~
文摘
为揭示环境中初始电子浓度对气体放电过程的影响,利用等离子体流体力学模型研究了大气压下5mm针-板空气间隙的流注放电过程。采用的等离子体流体力学模型包括了电子、正负离子连续性方程和电场的泊松方程。研究发现:5mm针板空气间隙下流注放电的通道半径约为0.1～0.3mm;随着间隙中初始电子浓度的增加,流注头部电场强度逐渐减小,流注发展的平均速率逐渐增大,流注贯穿间隙的时间逐渐减小;初始电子浓度对板电极表面电场强度、流注通道内电场强度和流注通道半径的影响可以忽略。
关键词
流注放电
流体力学模型
气体放电
电场强度
分布
电子
浓度
分布
流注发展平均速率
Keywords
streamer discharge
hydrodynamic model
gas discharge
electric field distribution
electron concentration distribution
the average velocity of streamer propagation
分类号
O461 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射原理的深入探讨
赵嘉学
童洪辉
《真空》
CAS
北大核心
2004
27
下载PDF
职称材料
2
初始电子浓度对空气中针板间隙正极性流注放电的影响
彭庆军
司马文霞
杨庆
袁涛
施健
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
20
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职称材料
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